Le processus thermique d'évaporation est une méthode utilisée pour vaporiser un matériau en le chauffant à une température où la pression de vapeur devient significative.
Ce processus entraîne la perte d'atomes ou de molécules de la surface du matériau dans le vide.
Le matériau peut être à l'état liquide ou solide avant l'évaporation.
Les 5 étapes clés expliquées
1. Chauffage du matériau cible
Le matériau cible est soumis à des températures très élevées, soit par sublimation, soit par ébullition, pour créer une vapeur.
2. Transport de la vapeur
Le matériau vaporisé est transporté vers le substrat dans un environnement sous vide.
3. Condensation sur le substrat
La vapeur se condense sur la surface du substrat, formant un film mince solide.
4. Répétition du processus
Le processus de dépôt peut être répété pour poursuivre la croissance et la nucléation de la couche mince.
5. Utilisation du chauffage par effet Joule
Le processus repose sur le chauffage par effet joule d'un bateau résistif pour chauffer le matériau jusqu'à son point d'évaporation, puis les molécules vaporisées se déplacent de la source vers le substrat pour former un revêtement en couche mince.
L'évaporation thermique est une technique populaire en raison de sa simplicité et de sa polyvalence.
Elle peut être utilisée pour déposer une large gamme de matériaux, notamment l'aluminium, l'argent, le nickel, le chrome et le magnésium.
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