Dans les techniques de dépôt physique en phase vapeur (PVD) et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), certains catalyseurs jouent un rôle crucial.
4 points clés sur les catalyseurs dans les techniques de dépôt en phase vapeur (PVD) et de dépôt en phase vapeur (CVD)
1. Catalyseurs couramment utilisés
Les catalyseurs couramment utilisés dans ces techniques sont le cobalt, le fer, le nickel et leurs alliages.
2. Rôle dans la production de nanotubes de carbone
Ces catalyseurs sont souvent utilisés dans la production de nanotubes de carbone par les méthodes CVD.
3. Différentes voies d'activation CVD
En dépôt en phase vapeur (CVD), plusieurs voies d'activation peuvent être utilisées, telles que le dépôt en phase vapeur par torche à plasma, le dépôt chimique en phase vapeur par filament chaud (HFCVD) et le dépôt chimique en phase vapeur par plasma à micro-ondes (MPCVD).
4. Croissance du film de diamant
Ces méthodes peuvent être employées pour faire croître des films de diamant de différentes qualités sur divers substrats, en fonction de l'application souhaitée.
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