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Tube de réduction en quartz fondu Adaptateur réducteur en quartz de haute pureté pour fours tubulaires de laboratoire et traitement des semi-conducteurs

Accessoires et consommables pour équipements d'analyse

Tube de réduction en quartz fondu Adaptateur réducteur en quartz de haute pureté pour fours tubulaires de laboratoire et traitement des semi-conducteurs

Numéro d'article : KT-SYG

Le prix varie en fonction de Spécifications et personnalisations


Composition matérielle
Quartz fondu de haute pureté (SiO2 ≥ 99,99 %)
Température de fonctionnement
1100 °C en continu / 1250 °C en pointe à court terme
Résistance aux chocs thermiques
Trempe à l'eau de 1100 °C à 20 °C sans fracture
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Le tube de réduction en quartz fondu de haute pureté sert de raccord de transition de précision conçu pour relier des diamètres de tubes inégaux à travers des fours à haute température, des réseaux à vide et des tuyauteries de processus. Fabriqué à partir de silice fondue raffinée dont la teneur en dioxyde de silicium dépasse 99,99 %, ce composant offre une résistance thermique exceptionnelle, une clarté optique et une inertie chimique, garantissant des transitions de débit volumétrique fiables sans zones mortes ni défaillance structurelle.

Largement utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), la recherche photovoltaïque et les laboratoires pyrolytiques analytiques, cet adaptateur connecte les chambres de four primaires aux collecteurs d'alimentation en gaz, aux épurateurs d'échappement et aux raccords de vide. Il élimine les incompatibilités d'interfaces géométriques dans les systèmes thermiques rigoureux où les raccords en élastomère ou en métal ne conviennent pas en raison de risques de dégradation thermique ou de contamination.

Conçu pour un fonctionnement continu à 1100 °C et des pics transitoires jusqu'à 1250 °C, le composant présente un coefficient de dilatation thermique exceptionnellement bas, conférant une immunité totale aux chocs thermiques rapides lors de cycles de four agressifs. Une épaisseur de paroi uniforme, une concentricité précise et un recuit complet du four garantissent une résistance mécanique à long terme dans des conditions rigoureuses de vide et de pression positive.

Caractéristiques principales

  • Pureté de matériau ultra-haute : Fabriqué exclusivement à partir de silice fondue de première qualité avec une pureté en SiO2 supérieure à 99,99 % et des impuretés métalliques totales à l'état de traces inférieures à 20 ppm, garantissant un risque nul de contamination du substrat dans les processus de dépôt de couches minces, de cellules solaires et de semi-conducteurs ultra-propres.
  • Résistance supérieure aux chocs thermiques : Possède un coefficient de dilatation thermique extrêmement bas de 5,5 × 10⁻⁷ /°C de la température ambiante à 1000 °C, permettant une exposition directe à des gradients thermiques aigus et une trempe instantanée à l'eau à partir de 1100 °C sans micro-fissuration, faïençage ou fracture thermique catastrophique.
  • Géométrie formée au tour de précision : Fabriqué à l'aide de tours à verre de travail du quartz synchronisés par ordinateur pour maintenir une concentricité serrée, des transitions de conicité lisses et une épaisseur de paroi uniforme sur les sections d'alésage majeur et mineur, empêchant la contrainte thermique localisée et la recirculation turbulente des gaz.
  • Inertie chimique à large spectre : Présente une immunité quasi totale aux acides corrosifs, y compris les acides nitrique, sulfurique et chlorhydrique concentrés à des températures d'ébullition, ainsi qu'aux halogènes secs et aux vapeurs de précurseurs volatils, protégeant l'intégrité de la chimie des processus dans des environnements chimiques exigeants.
  • Rigidité structurelle à haute température : Conserve une stabilité mécanique exceptionnelle dans des conditions de fonctionnement continu à 1100 °C et des excursions de pic intermittentes jusqu'à 1250 °C, résistant au affaissement, au ramollissement ou à l'implosion sous vide dans des régimes de pression négative profonde.
  • Transparence optique et visibilité du processus : Offre une transmission spectrale élevée à travers les spectres ultraviolet, visible et proche infrarouge de 260 nm à 2500 nm, permettant une surveillance visuelle claire des décharges de plasma, des flux de précurseurs et des zones de condensation de vapeurs pendant le traitement thermique.
  • Terminaisons d'extrémités et interfaces de raccordement personnalisables : Conçu avec des configurations de connexion polyvalentes, comprenant des extrémités unies polies au feu de précision, des joints coniques rodés standard, des raccords sphériques à rotule ou des profils de bride rapide à bourrelet pour s'intégrer de manière transparente dans divers agencements d'appareils.
  • Recuit de four contrôlé : Subit un recuit de cycle programmé en plusieurs étapes pour éliminer les contraintes internes résiduelles introduites lors du trirage mécanique et du rétrécissement à chaud, vérifié par des tests de polariscope optique pour assurer une durabilité physique fiable pendant le service.

Applications

Application Description Avantage clé
Diffusion et oxydation des semi-conducteurs Connecte les tubes de processus de grand diamètre à des injecteurs de livraison de gaz réactif plus petits ou à des brides de vide de ligne de refoulement dans les fours de diffusion à haute température. Empêche la contamination métallique, maintient des joints atmosphériques ultra-propres et résiste à des cycles de processus continus à 1100 °C sans dévitrification.
Dépôt chimique en phase vapeur (CVD / PECVD) Agit comme le réducteur de débit de gaz principal reliant les conduits d'alimentation en réactifs à la principale chambre de dépôt sous vide dans les systèmes à tubes horizontaux ou verticaux. Élimine les zones de recirculation turbulente grâce à une géométrie de conicité lisse, garantissant un flux de précurseur laminaire et une croissance de film mince uniforme.
Transitions d'échappement à vide poussé et de ligne de refoulement Fait le pont entre les chambres de processus surdimensionnées et les lignes de pompage à vide standard, les pièges à froid et les capteurs de pression de diagnostic dans les configurations à vide poussé. Fournit des taux de dégagement gazeux négligeables dans des conditions de vide ultra-poussé tout en maintenant des différentiels de vide profond sans flambage structurel.
Lignes d'évacuation et d'épurateur de gaz corrosifs Interconnecte les flux d'effluents corrosifs contenant du chlore, des composés fluorés ou des sous-produits acides aux pièges de condensation et aux tours de neutralisation. Imperméable aux brouillards acides et aux halogènes à des températures d'échappement élevées, empêchant la corrosion prématurée des raccords et les fuites d'échappement catastrophiques.
Réduction de l'alésage de four tubulaire de laboratoire Facilite la conversion dimensionnelle entre les grands tubes de chauffage de four et la verrerie de laboratoire standardisée ou les ports d'insertion de sondes analytiques. Permet aux chercheurs d'adapter des diamètres de tubes de four anciens à des appareils modulaires sans usiner sur mesure des embouts de four coûteux.
Traitement des tranches de silicium photovoltaïques Sert de conduit de transition pour la distribution de vapeur de dopant d'oxychlorure de phosphore ou de tribromure de bore dans les réacteurs de diffusion d'émetteurs de cellules solaires. Résiste à la corrosion agressive des vapeurs porteuses de dopant tout en préservant l'extrême pureté chimique essentielle pour une efficacité de durée de vie des porteurs élevée.
Analyse pyrolytique et thermique Couple les nacelles de combustion ou tubes de réaction à haute température directement aux spectromètres de masse, aux analyseurs de gaz optiques et aux serpentins de condensation. Fournit des voies d'écoulement inertes empêchant l'adsorption d'échantillons, les réactions secondaires catalytiques ou la distorsion du signal lors d'évaluations analytiques sensibles.
Dépôt de préforme de fibre optique (MCVD) Connecte les tubes de départ en quartz rotatifs aux collecteurs d'alimentation chimique et aux souffleurs d'échappement lors du dépôt chimique en phase vapeur modifié pour les cœurs de fibre. Assure une concentricité de rotation et une résistance mécanique élevées sous une flamme oxy-hydrogène intense se déplaçant le long de l'axe de la préforme.

Spécifications techniques

Variantes dimensionnelles standard

Modèle de produit Diamètre extérieur majeur (OD1) Diamètre extérieur mineur (OD2) Épaisseur de paroi (W) Longueur de conicité (L1) Longueur totale (L) Géométrie de transition
KT-SYG-2515 25 mm (±0.3 mm) 15 mm (±0.3 mm) 2.0 mm (±0.2 mm) 30 mm 150 mm Concentrique
KT-SYG-3825 38 mm (±0.5 mm) 25 mm (±0.3 mm) 2.5 mm (±0.3 mm) 40 mm 180 mm Concentrique
KT-SYG-5025 50 mm (±0.5 mm) 25 mm (±0.3 mm) 3.0 mm (±0.3 mm) 50 mm 200 mm Concentrique
KT-SYG-6040 60 mm (±0.5 mm) 40 mm (±0.5 mm) 3.0 mm (±0.3 mm) 50 mm 220 mm Concentrique
KT-SYG-8050 80 mm (±0.8 mm) 50 mm (±0.5 mm) 3.5 mm (±0.3 mm) 60 mm 250 mm Concentrique
KT-SYG-10060 100 mm (±0.8 mm) 60 mm (±0.5 mm) 4.0 mm (±0.4 mm) 80 mm 300 mm Concentrique
KT-SYG-12080 120 mm (±1.0 mm) 80 mm (±0.8 mm) 4.5 mm (±0.4 mm) 90 mm 320 mm Concentrique
KT-SYG-150100 150 mm (±1.2 mm) 100 mm (±0.8 mm) 5.0 mm (±0.5 mm) 100 mm 350 mm Concentrique
KT-SYG-5025E 50 mm (±0.5 mm) 25 mm (±0.3 mm) 3.0 mm (±0.3 mm) 55 mm 200 mm Excentrique à fond plat
KT-SYG-8050E 80 mm (±0.8 mm) 50 mm (±0.5 mm) 3.5 mm (±0.3 mm) 65 mm 250 mm Excentrique à fond plat
KT-SYG-10060E 100 mm (±0.8 mm) 60 mm (±0.5 mm) 4.0 mm (±0.4 mm) 85 mm 300 mm Excentrique à fond plat
KT-SYG-CUSTOM 10 mm – 450 mm 5 mm – 350 mm 1.5 mm – 10.0 mm Défini sur mesure 50 mm – 1200 mm Concentrique / Excentrique

Propriétés physiques et thermiques du matériau

Paramètre Norme de test / Unité Valeur / Caractéristique
Composition chimique Spectroscopie Quartz fondu de haute pureté (SiO2 ≥ 99.99%)
Densité du matériau Archimède / g/cm³ 2.20 g/cm³
Température de fonctionnement continu Limite thermique en service 1100°C
Limite de fonctionnement maximale à court terme Seuil d'excursion de pic 1250°C
Point de ramollissement ASTM C338 1730°C
Point de recuit ASTM C336 1180°C
Point de tension ASTM C336 1120°C
Coefficient de dilatation thermique (CTE) Dilatométrie (20°C – 1000°C) 5.5 × 10⁻⁷ /°C
Résistance aux chocs thermiques Test de trempe à l'eau 1100°C à 20°C sans fracture
Conductivité thermique 20°C / W/(m·K) 1.4 W/(m·K)
Résistance à la traction Test mécanique / MPa 48 MPa
Résistance à la compression Test mécanique / MPa 1100 MPa
Module de Young (Module d'élasticité) Résonance acoustique / GPa 72 GPa
Coefficient de Poisson Mécanique / Sans dimension 0.17
Constante diélectrique 1 MHz à 25°C 3.75
Indice de réfraction (nD) Raie D du sodium optique (589.3 nm) 1.4585
Transmission optique Spectrométrie 260 nm – 2500 nm > 90%

Profil type des impuretés à l'état de traces chimiques

Élément Symbole Concentration (ppm en poids)
Aluminium Al 12.0 – 16.0
Fer Fe 0.2 – 0.6
Calcium Ca 0.4 – 0.9
Magnésium Mg 0.1 – 0.4
Sodium Na 0.5 – 1.2
Potassium K 0.4 – 0.8
Lithium Li 0.2 – 0.5
Cuivre Cu < 0.05
Impuretés métalliques totales Teneur totale en métaux < 20.0 ppm

Options de terminaison d'extrémité et de raccordement

Style de terminaison Disponible en standard Connexion d'application typique
Extrémités unies polies au feu Coupe lisse standard et glacée à la flamme Raccords Ultra-Torr, joints toriques de compression, brides d'extrémité de four
Joints coniques en verre rodé Cône standard ST 14/23, 19/26, 24/29, 29/32, 45/40 Connexions de verrerie interchangeables directes sans adaptateurs en polymère
Joints sphériques à rotule Semi-joints à rotule S13, S19, S28, S35, S50 Lignes de réglage angulaire, joints de dilatation thermique sans contrainte
Extrémités à bride rapide à bourrelet Extrémités perlées en quartz pour colliers à joint torique Raccords de collier de tuyau à vide, collecteurs de ligne de refoulement de haute pureté
Brides en quartz fondu Faces plates polies avec trous de boulons ou bords fendus Boulonnage direct sur des assemblages de vide métalliques ou des hublots de réacteur

Pourquoi choisir ce produit

  • Technologie de formage à chaud au tour de précision : Des tours de travail du verre automatisés avancés contrôlent la réduction de l'épaisseur de paroi dans la zone de transition conique, éliminant les points minces structurels et les contraintes thermiques inégales propres aux réducteurs étirés manuellement.
  • Pureté chimique et matricielle intransigeante : Provenant strictement de quartz fondu électriquement raffiné contenant moins de 20 ppm d'impuretés métalliques cumulées, protégeant ainsi les séries de plaquettes sensibles, les lits catalytiques et les dépôts de couches minces CVD contre la contamination croisée élémentaire.
  • Recuit sans contrainte validé : Chaque pièce subit un recuit de rampe de four automatisé suivi d'inspections complètes des contraintes polariscopiques, garantissant une tension mécanique résiduelle nulle et une résilience complète contre les chocs thermiques.
  • Ingénierie de disposition concentrique et excentrique : Proposé à la fois sous des formes concentriques standard pour une dynamique d'écoulement symétrique et des configurations excentriques à fond plat qui éliminent l'accumulation de condensat liquide dans les lignes d'évacuation et de récupération horizontales.
  • Personnalisation dimensionnelle complète : Nous concevons des rapports de diamètre personnalisés, des angles de transition uniques, des longueurs de jambe prolongées et des brides de terminaison adaptées directement aux outils de processus propriétaires et aux fours tubulaires anciens.

Contactez notre équipe d'ingénierie technique dès aujourd'hui pour examiner vos spécifications dimensionnelles, discuter de solutions de soufflage de verre sur mesure ou obtenir un devis compétitif pour une livraison immédiate.

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