Le dépôt est un processus par lequel un gaz se transforme directement en solide, sans passer par la phase liquide.
Ce processus est considéré comme l'inverse de la sublimation, qui se produit lorsqu'un solide se transforme directement en gaz sans devenir liquide au préalable.
5 points clés à comprendre
1. Techniques de dépôt
Il existe deux grandes catégories de techniques de dépôt : le dépôt physique en phase vapeur (PVD) et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD).
2. Dépôt physique en phase vapeur (PVD)
Dans le dépôt physique en phase vapeur, la vapeur est composée d'atomes et de molécules qui se condensent sur le substrat, formant un film mince.
Ce résultat peut être obtenu par des procédés tels que l'évaporation sous vide, où un matériau solide est transformé en vapeur, puis condensé sur le substrat.
3. Dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
Le dépôt chimique en phase vapeur implique une réaction chimique de la vapeur sur le substrat, ce qui entraîne la formation d'un film mince.
Ce procédé nécessite souvent que le substrat soit à une température élevée.
Le plasma peut également être utilisé pour faciliter le processus, ce qui permet d'abaisser la température du substrat.
Parmi les exemples de procédés CVD, on peut citer l'épitaxie métallo-organique en phase vapeur, la pyrolyse, la réduction, l'oxydation, la formation de composés, la disproportion et le transfert réversible.
4. Variations dans les méthodes de dépôt
Les méthodes de dépôt peuvent varier en fonction de l'épaisseur souhaitée de la couche déposée et des matériaux spécifiques utilisés.
Le dépôt de couches minces, qui implique le dépôt d'atomes ou de molécules individuels sur la surface, est généralement utilisé pour les couches d'une épaisseur inférieure à un micron.
Le dépôt de couches épaisses concerne le dépôt de particules et implique généralement des couches plus épaisses.
5. Résumé du dépôt
En résumé, le dépôt est le processus par lequel un gaz se transforme directement en un solide.
Il peut être réalisé par des techniques de dépôt physique en phase vapeur (PVD) ou de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), selon que le processus est principalement axé sur des transformations physiques ou chimiques.
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