Le carbure de silicium (SiC) n'est pas un bon isolant électrique ; en fait, certaines formes de carbure de silicium, en particulier celles produites par dépôt chimique en phase vapeur (CVD), présentent une faible résistance électrique, ce qui en fait de bons conducteurs d'électricité. Cette propriété est particulièrement évidente dans le "carbure de silicium CVD à faible résistivité", qui présente une résistivité globale inférieure à 0,1 ohm-cm.
Explication de la conductivité électrique du carbure de silicium :
La conductivité électrique du carbure de silicium est influencée par sa méthode de production et les conditions spécifiques dans lesquelles il est traité. Le carbure de silicium CVD, en particulier, peut être conçu pour présenter une résistance électrique très faible, de l'ordre d'un ohm cm, ce qui le classe comme conducteur plutôt qu'isolant. Cette faible résistance est due à la grande pureté et au contrôle précis du processus de dépôt, qui permet de créer un matériau présentant moins de défauts et d'impuretés qui, autrement, entraveraient le flux des électrons.Applications bénéficiant de la conductivité électrique du SiC :
Les propriétés conductrices du carbure de silicium CVD ouvrent la voie à de nombreuses applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est utilisé dans des composants tels que les suscepteurs, les chambres de traitement, les plaques de distribution de gaz et les mandrins électrostatiques, où la conductivité électrique est cruciale. En outre, sa capacité à conduire l'électricité permet d'utiliser des méthodes d'usinage par décharge électrique (EDM) pour fabriquer des pièces de précision, ce qui est particulièrement utile pour générer de petits trous à rapport d'aspect élevé.
Contraste avec les propriétés générales du SiC :
Si le carbure de silicium CVD présente des propriétés conductrices, il est important de noter que toutes les formes de carbure de silicium ne sont pas conductrices. Le carbure de silicium général, en particulier les variétés frittées ou liées par réaction, peut avoir des propriétés isolantes en fonction de sa pureté et de sa microstructure. La couche protectrice d'oxyde de silicium qui se forme sur le carbure de silicium dans l'air à des températures élevées peut également renforcer ses propriétés isolantes.
