Les sources d'évaporation thermique sont des composants essentiels dans divers processus scientifiques et industriels. Elles sont utilisées pour vaporiser des matériaux à des températures élevées afin de les déposer sur des substrats. Les matériaux utilisés dans ces sources sont soigneusement choisis pour leurs propriétés uniques.
5 points clés à connaître sur les matériaux utilisés dans les sources d'évaporation thermique
1.Matériaux primaires : Tungstène, molybdène et tantale
Ces matériaux sont les plus couramment utilisés dans les sources d'évaporation thermique. Ils sont choisis pour leur grande pureté, leur point de fusion élevé et leur faible pression de vapeur. Ils sont donc idéaux pour les sources d'évaporation à chauffage résistif.
2.Propriétés des matériaux réfractaires
Le tungstène, le molybdène et le tantale sont connus pour leurs propriétés réfractaires. Cela signifie qu'ils peuvent résister à des températures extrêmement élevées sans se dégrader. Ceci est crucial pour le processus d'évaporation, où le matériau source est chauffé jusqu'à son point de fusion ou plus.
3.Différentes formes de sources d'évaporation
Les sources d'évaporation thermique se présentent sous différentes formes pour répondre à différents besoins :
- Bateaux : Ils sont couramment utilisés et existent en différentes tailles. Les bateaux plus grands nécessitent une plus grande puissance mais peuvent gérer des taux de dépôt plus élevés.
- Paniers : Ils conviennent pour soutenir les creusets et sont utilisés pour les matériaux qui doivent être confinés pendant l'évaporation.
- Filaments : Ils sont généralement utilisés pour les matériaux qui peuvent être évaporés à des températures plus basses ou pour des applications à plus petite échelle.
- Tiges enduites : Ils peuvent être utilisés lorsqu'un revêtement de surface spécifique est nécessaire pour améliorer le processus d'évaporation ou pour prévenir la contamination.
4.Applications et conception
La conception de la source d'évaporation est essentielle pour des applications spécifiques, telles que les OLED et les revêtements multiples dans la fabrication d'écrans plats. Les sources sont conçues pour optimiser le processus d'évaporation, garantissant un dépôt efficace et uniforme des matériaux.
5.Alimentation et contrôle
Les sources d'évaporation thermique nécessitent généralement une source d'énergie électrique à faible tension et à courant élevé. La demande d'énergie est généralement élevée, en particulier pour les sources d'évaporation de bateaux. Pour contrôler la vitesse d'évaporation et la vitesse de dépôt, les systèmes d'évaporation thermique utilisent souvent des microbalances à cristal de quartz (QCM) et d'autres configurations logicielles ou matérielles.
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