Les matériaux utilisés dans les sources d'évaporation thermique comprennent principalement le tungstène, le molybdène et le tantale. Ces matériaux sont choisis pour leur grande pureté, leur point de fusion élevé et leur faible pression de vapeur, ce qui les rend appropriés pour les sources d'évaporation chauffées par résistance. Ces sources se présentent sous diverses formes, telles que des bateaux, des paniers, des filaments et des tiges revêtues, chacune étant conçue pour prendre en charge différents types d'évaporants et d'applications.
Tungstène, molybdène et tantale : Ces matériaux sont couramment utilisés dans la fabrication des sources d'évaporation en raison de leurs propriétés réfractaires. Ils peuvent supporter des températures élevées sans dégradation significative, ce qui est crucial pour le processus d'évaporation dans lequel le matériau source est chauffé jusqu'à son point de fusion ou au-delà pour se vaporiser et se déposer sur un substrat.
Formes d'évaporation Sources :
- Bateaux : Ils sont couramment utilisés et existent en différentes tailles. Les cuves plus grandes nécessitent une puissance plus élevée pour la même vitesse de dépôt, mais peuvent supporter des vitesses de dépôt maximales plus élevées.
- Paniers : Ils comprennent ceux qui conviennent pour soutenir les creusets et sont utilisés pour les matériaux qui peuvent nécessiter un confinement pendant l'évaporation.
- Filaments : Ils sont généralement utilisés pour les matériaux qui peuvent être évaporés à des températures plus basses ou pour des applications à plus petite échelle.
- Tiges enduites : Ils peuvent être utilisés lorsqu'un revêtement de surface spécifique est nécessaire pour améliorer le processus d'évaporation ou pour prévenir la contamination.
Applications et conception :
La conception de la source d'évaporation est essentielle pour des applications spécifiques telles que le revêtement OLED/multiple dans la fabrication d'écrans plats. Les sources sont spécifiquement conçues pour optimiser le processus d'évaporation, garantissant un dépôt efficace et uniforme des matériaux.Alimentation et contrôle :
Les sources d'évaporation thermique nécessitent généralement une source d'énergie électrique à faible tension et à courant élevé. La demande en énergie est généralement élevée, en particulier pour les sources d'évaporation de bateaux. Pour contrôler la vitesse d'évaporation et la vitesse de dépôt, les systèmes d'évaporation thermique utilisent souvent des microbalances à cristal de quartz (QCM) et d'autres configurations logicielles ou matérielles pour gérer la vitesse d'évaporation et les propriétés du film.
Matériaux d'évaporation :
