L'effet de la vitesse de dépôt sur les films minces est que les films produits à des vitesses de dépôt plus élevées présentent des excroissances ou des buttes, la densité de ces excroissances augmentant au fur et à mesure que la vitesse de dépôt augmente. En outre, la taille moyenne des grains du film augmente avec la vitesse de dépôt. Par exemple, pour les films d'aluminium sur tous les substrats, la taille moyenne des grains passe de 20-30 nm à 50-70 nm avec l'augmentation de la vitesse de dépôt.
La vitesse de dépôt est un paramètre important à prendre en compte lors de l'utilisation ou de l'acquisition d'un équipement de dépôt. Il s'agit d'une mesure de la vitesse de croissance du film, généralement exprimée en unités d'épaisseur divisées par le temps (par exemple A/s, nm/min, um/heure). Le choix de la vitesse de dépôt dépend de l'application spécifique. Pour les films minces, une vitesse de dépôt relativement lente est préférable pour assurer un contrôle précis de l'épaisseur du film. En revanche, pour les films épais, une vitesse de dépôt plus rapide est souhaitée. Cependant, il existe des compromis entre les propriétés du film et les conditions du processus. Les procédés de dépôt plus rapide nécessitent souvent une puissance, des températures ou des débits de gaz plus élevés, ce qui peut affecter d'autres caractéristiques du film telles que l'uniformité, la tension ou la densité.
L'uniformité du dépôt est un autre facteur à prendre en compte. L'uniformité du dépôt fait référence à la cohérence de l'épaisseur du film sur le substrat. Elle peut également se référer à d'autres propriétés du film telles que l'indice de réfraction. L'uniformité est généralement mesurée en collectant des données sur une plaquette et en calculant la moyenne et l'écart type. Il est important d'exclure de l'analyse métrologique les zones présentant des effets de serrage ou de bord.
En conclusion, la vitesse de dépôt affecte la morphologie et la taille des grains des films minces. Il est important de choisir une vitesse de dépôt adaptée aux propriétés du film et à l'application souhaitées. En outre, des facteurs tels que l'uniformité doivent être pris en compte pour garantir une qualité de film constante.
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