La fréquence du système MPCVD est de 2,45 GHz. C'est la fréquence à laquelle fonctionne le générateur de micro-ondes dans le système MPCVD.
Le rayonnement micro-ondes est utilisé pour générer du plasma dans la chambre à vide, créant ainsi un environnement idéal pour le dépôt de diamant.
Les électrons du plasma absorbent l'énergie du rayonnement micro-ondes et atteignent des températures allant jusqu'à 5273 K.
Les fréquences micro-ondes les plus couramment utilisées pour cette méthode sont 2,45 GHz et 915 MHz.
Quelle est la fréquence de la MPCVD ? (4 points clés expliqués)
1. Fréquence de fonctionnement de la MPCVD
La fréquence de la MPCVD est de 2,45 GHz. C'est la fréquence à laquelle le générateur de micro-ondes du système MPCVD fonctionne.
2. Génération de plasma
Le rayonnement micro-ondes est utilisé pour générer du plasma dans la chambre à vide, créant ainsi un environnement idéal pour le dépôt de diamant.
3. Température des électrons
Les électrons du plasma absorbent l'énergie du rayonnement micro-ondes et atteignent des températures allant jusqu'à 5273 K.
4. Fréquences micro-ondes courantes
Les fréquences micro-ondes les plus couramment utilisées pour cette méthode sont 2,45 GHz et 915 MHz.
5. Avantages de la méthode MPCVD
La méthode MPCVD présente plusieurs avantages par rapport aux autres méthodes de synthèse du diamant.
Par rapport à la méthode CVD DC-PJ, la MPCVD permet un réglage souple et continu de la puissance des micro-ondes et un contrôle stable de la température de réaction.
Cela permet d'éviter le problème des germes de cristaux qui tombent du substrat en raison de l'arc électrique et de la défaillance de la flamme.
En ajustant la structure de la chambre de réaction et en contrôlant la puissance et la pression des micro-ondes, il est possible d'obtenir une large zone de plasma de décharge stable, ce qui est nécessaire pour la production de diamants monocristallins de grande qualité et de grande taille.
Par conséquent, la méthode MPCVD est considérée comme la méthode de synthèse du diamant la plus prometteuse pour les applications industrielles.
6. Autres applications de la MPCVD
Outre ses avantages pour la synthèse du diamant, la méthode MPCVD est également utilisée dans d'autres applications telles que la fabrication de graphène.
La fréquence de 2,45 GHz est utilisée dans la conception des chambres MPECVD pour les systèmes de production de cellules en couches minces.
L'emplacement des fentes dans la chambre influe sur le mode de résonance, les positions du milieu et du bas produisant respectivement les modes TE111 et TM011 à 2,45 GHz.
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