La fabrication de couches minces, également connue sous le nom de dépôt de couches minces, consiste à créer et à déposer des couches minces sur un substrat.
Ces revêtements peuvent être constitués de divers matériaux, tels que des métaux, des oxydes ou des composés.
Les revêtements en couches minces présentent différentes caractéristiques qui peuvent être exploitées pour modifier ou améliorer les performances du substrat.
Deux méthodes principales sont utilisées pour le dépôt de couches minces : le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le dépôt physique en phase vapeur (PVD).
Dans le cas présent, nous nous concentrerons sur l'évaporation par faisceau d'électrons, qui est un type de PVD.
Le processus commence par l'émission de particules à partir d'une source, telle que la chaleur ou une haute tension.
Ces particules sont ensuite transportées vers le substrat.
Dans l'évaporation par faisceau d'électrons, un faisceau d'électrons à haute énergie est utilisé pour chauffer une source de matériau, provoquant sa vaporisation.
Le matériau vaporisé se condense ensuite sur la surface du substrat, formant un film mince.
Pour garantir une épaisseur uniforme et une excellente couverture de la surface, les atomes du matériau vaporisé sont mobilisés grâce à l'énergie thermique de surface.
Cela signifie que la surface du substrat est mise en contact avec l'énergie thermique provenant soit des atomes de condensation, soit d'un dispositif de chauffage du substrat.
Cette mobilisation permet de créer un film mince présentant les caractéristiques souhaitées.
Le dépôt de couches minces est une science précise et exacte, en particulier lorsqu'on utilise des matériaux délicats comme le silicium semi-conducteur.
Des décennies de recherche et de développement dans ce domaine ont élargi les applications de la technologie des couches minces, en particulier dans le domaine des nanotechnologies.
Globalement, le processus de dépôt de couches minces consiste à vaporiser une source de matériau et à la condenser sur un substrat pour créer un revêtement en couches minces.
Ce processus nécessite des compétences et peut être appliqué à toute une série de matériaux de base, notamment le verre, les métaux et les céramiques.
Les revêtements en couches minces qui en résultent peuvent présenter diverses propriétés, telles que la transparence, la durabilité, la conductivité ou la transmission de signaux.
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