L'évaporation thermique est une méthode utilisée pour créer des films minces sur des surfaces.
Elle consiste à chauffer un matériau jusqu'à ce qu'il se transforme en vapeur.
Cette vapeur forme alors une fine couche sur une surface voisine.
Le processus se déroule dans un environnement à très basse pression, généralement inférieure à 10^-5 torr.
Cette méthode est connue pour sa simplicité, sa faible consommation d'énergie et sa nature douce.
5 points essentiels à connaître sur l'évaporation thermique
1. Chauffer le matériau
Le processus commence par le chauffage d'un matériau solide.
Cela se fait souvent à l'aide d'un bateau résistif.
Le matériau est chauffé à une température élevée où il commence à bouillir ou à se sublimer.
Cette température élevée est nécessaire pour vaincre la pression de vapeur du matériau et lancer le processus d'évaporation.
2. Évaporation sous vide
L'évaporation a lieu dans une chambre à vide poussé.
L'environnement sous vide est crucial.
Il empêche la vapeur de réagir ou de se disperser contre d'autres atomes.
Cela permet à la vapeur de se diriger directement vers le substrat.
3. Dépôt sur le substrat
Le matériau évaporé forme un flux de vapeur.
Ce flux traverse la chambre et se dépose sur le substrat.
La vapeur se condense ensuite pour former un film mince.
Ce film peut être uniforme et bien collé grâce à l'environnement contrôlé et à la trajectoire directe de la vapeur.
4. Répétabilité et croissance
Le processus peut être répété plusieurs fois.
Chaque cycle contribue à la nucléation et à la croissance du film.
Cela améliore la qualité et l'uniformité du film.
5. Applications et matériaux
L'évaporation thermique est utilisée en laboratoire et dans l'industrie.
Elle permet de déposer une grande variété de matériaux.
Il s'agit notamment de métaux tels que l'aluminium, l'argent, le nickel et le chrome.
Sa polyvalence et sa capacité à déposer une large gamme de matériaux en font un choix populaire pour les applications de couches minces.
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