Dans le contexte de l'évaporation thermique, le matériau en phase vapeur est le matériau qui a été chauffé au point de bouillir et de s'évaporer dans une chambre à vide poussé.
Ce matériau forme un nuage de vapeur et constitue un flux de vapeur qui traverse la chambre pour se déposer sous forme de film mince sur un substrat.
5 points clés expliqués
1. Processus d'évaporation thermique
Dans ce processus, un matériau solide est chauffé dans une chambre à vide poussé jusqu'à ce qu'il atteigne son point d'ébullition et commence à s'évaporer.
L'évaporation produit une pression de vapeur suffisante pour créer un nuage de vapeur, même dans l'environnement à basse pression de la chambre à vide.
2. La pression de vapeur et son importance
La pression de vapeur est cruciale dans ce contexte car elle détermine le point où le taux d'évaporation est égal au taux de condensation, ce qui conduit à un état d'équilibre.
Comprendre la pression de vapeur d'un matériau permet de sélectionner les conditions appropriées pour l'évaporation et de s'assurer que le matériau ne subit pas de perte nette au cours du processus.
3. Types de matériaux et leur évaporation
Les matériaux utilisés pour l'évaporation peuvent être de différents types, notamment des métaux, des céramiques, des polymères et des composés à base de carbone.
Ces matériaux se présentent généralement sous la forme de fils, de feuilles ou de solides en vrac. Lorsqu'ils sont chauffés, ils entrent en ébullition ou se subliment pour produire des vapeurs qui sont ensuite condensées sur un substrat pour former des films minces.
4. Impact du vide et de la température sur la pression de vapeur
Le niveau de vide et la température influencent considérablement la pression de vapeur d'un matériau.
Par exemple, la pression de vapeur du chrome varie considérablement en fonction du niveau de vide et de la température, ce qui peut poser des problèmes lors du traitement de certains matériaux.
5. Application et sélection des matériaux
Le choix du matériau pour l'évaporation dépend de l'application prévue du film mince.
Des applications différentes exigent des propriétés matérielles différentes, telles que la conductivité électrique, les propriétés optiques ou la résistance mécanique.
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