L'évaporation thermique est une méthode utilisée pour créer des couches minces de métaux et de non-métaux sur divers substrats.
Ce processus se déroule dans un environnement sous vide poussé, ce qui le rend idéal pour les applications qui nécessitent des revêtements précis et propres.
3 applications clés de l'évaporation thermique
1. Aperçu du procédé
Chauffage : Le matériau à déposer est chauffé dans une chambre à vide poussé à l'aide d'un chauffage joule.
Ce chauffage est généralement effectué par l'intermédiaire d'un bateau ou d'un serpentin résistif.
Le matériau est chauffé jusqu'à ce qu'il atteigne son point d'évaporation, ce qui provoque sa vaporisation.
Vaporisation : Une fois vaporisé, le matériau forme un nuage dans la chambre.
L'environnement sous vide minimise les collisions et les réactions avec d'autres atomes, ce qui permet une vaporisation efficace.
Dépôt : Le matériau vaporisé traverse la chambre et se dépose sur un substrat placé au-dessus de la source.
Le substrat est généralement placé vers le bas, en direction de la source chauffée, afin de garantir un revêtement efficace.
2. Applications
Contacts électriques : L'évaporation thermique est couramment utilisée pour déposer des métaux simples tels que l'argent ou l'aluminium pour les contacts électriques.
Ces métaux sont choisis pour leur conductivité et leur capacité à former des contacts stables et à faible résistance.
Dispositifs à couche mince : Cette technique est également utilisée pour la fabrication de dispositifs à couche mince tels que les OLED, les cellules solaires et les transistors à couche mince.
Par exemple, elle peut être utilisée pour déposer des couches de contact métalliques qui sont cruciales pour la performance de ces dispositifs.
Dépôts complexes : Les applications les plus avancées impliquent le dépôt conjoint de plusieurs composants.
On y parvient en contrôlant soigneusement les températures des creusets individuels contenant différents matériaux, ce qui permet le dépôt simultané de divers matériaux.
3. Polyvalence des matériaux
L'évaporation thermique permet de déposer une grande variété de matériaux.
Il s'agit notamment de l'aluminium, de l'argent, du nickel, du chrome, du magnésium et de l'or.
Cette polyvalence la rend adaptée à un large éventail d'applications industrielles et scientifiques.
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