La vitesse de dépôt est un aspect crucial des processus de dépôt de couches minces. Elle mesure la vitesse à laquelle le matériau est déposé sur un substrat.
Quelles sont les unités de la vitesse de dépôt ? 5 points clés à comprendre
1. Unités courantes de la vitesse de dépôt
Les unités de la vitesse de dépôt sont généralement exprimées en termes de longueur par unité de temps.
2. Nanomètres par seconde (nm/s)
Une unité courante est le nanomètre par seconde (nm/s).
3. Micromètres par minute (μm/min)
Une autre unité courante est le micromètre par minute (μm/min).
4. Calcul de la vitesse de dépôt
La vitesse de dépôt, désignée par ( R_{dep} ), peut être calculée à l'aide de la formule : [ R_{dep} = A \times R_{sputter} ].
5. Importance du dépôt de couches minces
La vitesse de dépôt est essentielle pour contrôler l'épaisseur et l'uniformité des couches minces.
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