Lorsqu'il s'agit de vaporiser des matériaux, il existe deux méthodes principales : l'évaporation thermique et l'évaporation par faisceau d'électrons.
5 points clés à prendre en compte
1. Méthode de chauffage
L'évaporation thermique utilise un courant électrique pour chauffer le creuset.
L'évaporation par faisceau d'électrons utilise un faisceau d'électrons à haute énergie pour chauffer directement le matériau.
2. Adaptation
L'évaporation thermique convient mieux aux matériaux dont le point de fusion est bas, tels que les métaux et les non-métaux.
L'évaporation par faisceau d'électrons peut traiter des matériaux à température plus élevée, y compris les métaux réfractaires.
3. Vitesse de dépôt et pureté
L'évaporation par faisceau d'électrons a généralement une vitesse de dépôt plus élevée.
L'évaporation par faisceau d'électrons peut produire des films d'une meilleure pureté car elle évite de chauffer le creuset, ce qui peut introduire des impuretés.
4. Équipement et évolutivité
L'évaporation par faisceau d'électrons nécessite un équipement plus sophistiqué et plus coûteux.
L'évaporation thermique est plus simple et plus rentable pour de nombreuses applications.
5. Exigences spécifiques
Le choix entre l'évaporation thermique et l'évaporation par faisceau d'électrons dépend des exigences spécifiques du matériau à évaporer, de la pureté et de la vitesse de dépôt souhaitées, ainsi que du budget et de la complexité de l'équipement disponible.
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