Les matériaux d'évaporation sont des substances utilisées pour former des couches minces ou des revêtements sur des surfaces par le processus d'évaporation. Ces matériaux sont portés à haute température jusqu'à ce qu'ils commencent à se vaporiser. Dans un environnement sous vide, le matériau vaporisé se dirige directement vers la surface d'un objet, généralement un substrat, qui est la cible à recouvrir. Là, la matière vaporisée commence à se condenser et à former un film mince sur le substrat.
Matériaux utilisés pour l'évaporation :
Les matériaux utilisés pour l'évaporation vont des métaux purs à divers composés tels que les antimoniures, les arséniures, les borures, les carbures, les fluorures, les nitrures, les oxydes, les séléniures, les siliciures, les sulfures et les tellurures. Parmi les exemples, citons l'or, couramment utilisé dans les revêtements optiques, et divers oxydes et nitrures qui jouent un rôle essentiel dans la production de cellules solaires et de capteurs.Niveaux de pureté :
Les niveaux de pureté des matériaux d'évaporation sont critiques et se situent généralement entre 99,9 % et 99,99999 %, en fonction de l'application. Une pureté élevée est essentielle pour garantir l'intégrité et les performances des revêtements, en particulier dans les applications sensibles telles que les composants optiques et les appareils médicaux.
Formes des matériaux d'évaporation :
- Les matériaux d'évaporation se présentent sous différentes formes : morceaux, feuilles, pastilles, fils, tiges, balles et limaces. Le choix de la forme dépend de la technique d'évaporation spécifique et de la facilité de manipulation et de chauffage pendant le processus d'évaporation.Techniques d'évaporation thermique :
- Plusieurs techniques sont utilisées pour l'évaporation thermique :
- L'évaporation par chauffage résistif : Le matériau est chauffé dans un creuset chauffé par résistance et la vapeur se condense sur le substrat.
- Évaporation par faisceau d'électrons : Un faisceau d'électrons est focalisé sur le matériau, qui chauffe rapidement et s'évapore.
Évaporation éclair : Le matériau est rapidement chauffé jusqu'à sa température d'évaporation à l'aide d'une impulsion de courant élevé ou d'une source de chaleur intense.
Évaporation par chauffage par induction : Le chauffage par induction induit des courants dans le matériau source, ce qui entraîne un chauffage et une évaporation.
Sources d'évaporation :
