Le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) est une technique polyvalente utilisée pour déposer une large gamme de matériaux, notamment des métaux, des semi-conducteurs, des oxydes, des nitrures, des carbures, des diamants et des polymères. Ces matériaux servent à diverses fins fonctionnelles telles que les applications électroniques, optiques, mécaniques et environnementales. Les procédés de dépôt peuvent être classés en CVD thermique, CVD à basse pression, CVD assisté par plasma et CVD sous ultravide, chacun étant conçu pour fonctionner dans des conditions spécifiques afin d'optimiser le dépôt de différents matériaux.
Métaux et semi-conducteurs :
La technique CVD est largement utilisée pour déposer des métaux tels que le nickel, le tungstène, le chrome et le carbure de titane, qui sont essentiels pour améliorer la résistance à la corrosion et à l'usure. Les semi-conducteurs, qu'ils soient élémentaires ou composés, sont également couramment déposés à l'aide de procédés CVD, en particulier pour la fabrication de dispositifs électroniques. Le développement de composés métallo-organiques volatils a élargi la gamme des précurseurs appropriés pour ces procédés, en particulier pour la MOCVD (Metal-Organic CVD), qui est essentielle pour le dépôt de films épitaxiques de semi-conducteurs.Oxydes, nitrures et carbures :
Ces matériaux sont déposés par CVD pour diverses applications en raison de leurs propriétés uniques. Par exemple, les oxydes tels que Al2O3 et Cr2O3 sont utilisés pour leurs propriétés d'isolation thermique et électrique, tandis que les nitrures et les carbures apportent dureté et résistance à l'usure. Les procédés CVD permettent un contrôle précis du dépôt de ces matériaux, ce qui garantit des films de haute qualité.
Diamant et polymères :
Le dépôt en phase vapeur par procédé chimique est également utilisé pour déposer des films de diamant, qui sont appréciés pour leur dureté et leur conductivité thermique exceptionnelles. Les polymères déposés par CVD sont utilisés dans des applications telles que les implants biomédicaux, les circuits imprimés et les revêtements lubrifiants durables. Le procédé permet de produire ces matériaux dans différentes microstructures, notamment monocristallines, polycristallines et amorphes, en fonction des exigences de l'application.
Techniques et conditions de dépôt :
