Pour nettoyer un dispositif de revêtement par pulvérisation cathodique, suivez les étapes détaillées ci-dessous :
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Propreté de la chambre de travail:
- Nettoyage de la chambre de verre: Utilisez de l'eau chaude savonneuse pour nettoyer soigneusement la chambre en verre. Veillez à ce qu'elle soit complètement séchée. En cas de dépôts tenaces, vous pouvez utiliser un tampon à récurer de cuisine. Évitez d'utiliser des solvants, car ils sont inutiles et présentent des risques pour la santé et la sécurité.
- Nettoyage des surfaces métalliques: Nettoyez les surfaces métalliques avec de l'alcool isopropylique. Évitez d'utiliser de l'acétone en raison des risques pour la santé et la sécurité qu'elle présente et de son temps de dégazage plus long, qui peut affecter les performances de l'aspirateur.
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Entretien du vide:
- Prévention du retour par aspiration: Il faut toujours isoler la pompe de dégrossissage de la coucheuse lorsque la chambre est sous vide. Cela se fait généralement à l'aide d'une vanne manuelle. Par exemple, les machines de revêtement par pulvérisation cathodique à vide élevé de Quorum sont dotées d'un dispositif de " maintien de la pompe " qui maintient le vide lorsque l'instrument n'est pas utilisé, évitant ainsi la contamination par l'huile de la pompe.
- Sécheresse du système et niveau de vide: Assurez-vous que le système est sec et que le niveau de vide est correct avant de commencer le processus de pulvérisation. Cela permet d'obtenir un bon taux de pulvérisation et d'éviter la contamination.
- Entretien de la pompe: Lester régulièrement les pompes rotatives et les entretenir à intervalles réguliers pour maintenir des performances optimales.
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Nettoyage de la pulvérisation:
- Nettoyage physique par pulvérisation: La pulvérisation physique sous vide permet de nettoyer les surfaces des solides des contaminants. Cette méthode est couramment utilisée dans les domaines de la science des surfaces, du dépôt sous vide et du placage ionique. Cependant, il faut faire attention aux problèmes potentiels tels que la surchauffe, l'incorporation de gaz, les dommages de surface et la rugosité. Veillez à ce que le plasma soit propre afin d'éviter toute recontamination pendant le nettoyage par pulvérisation cathodique.
En respectant ces pratiques de nettoyage et d'entretien, les performances et la longévité de la machine de revêtement par pulvérisation cathodique peuvent être considérablement améliorées.
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