Pour nettoyer une chambre de pulvérisation, il est essentiel de maintenir un niveau de propreté élevé afin d'éviter toute contamination et de garantir la qualité des revêtements. Voici les étapes détaillées et les considérations à prendre en compte :
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Nettoyage de la chambre et des composants:
- Nettoyage de la chambre: Nettoyez la chambre en verre avec de l'eau chaude savonneuse et séchez-la soigneusement. Pour les dépôts tenaces, utilisez un tampon à récurer de cuisine. Évitez d'utiliser des solvants pour des raisons de santé et de sécurité.
- Nettoyage des surfaces métalliques: Utilisez de l'alcool isopropylique sur les surfaces métalliques. Évitez l'acétone car elle présente des risques plus importants pour la santé et la sécurité et prend plus de temps à dégazer, ce qui affecte les performances du vide.
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Maintien de la qualité du vide et du gaz:
- Niveau de vide: Assurez-vous que la chambre à vide est évacuée à un niveau de vide élevé, généralement entre 10^-6 et 10^-9 Torr. Cela est essentiel pour créer un environnement exempt de contaminants pour le dépôt.
- Gaz de pulvérisation: Le gaz de pulvérisation (argon ou oxygène) doit être nettoyé et séché pour maintenir les caractéristiques de composition du revêtement.
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Méthodes de pré-nettoyage:
- Méthode de dépôt: Le choix de la méthode de dépôt influence la méthode de pré-nettoyage. Par exemple, les technologies de sources d'ions sont plus compatibles avec les systèmes d'évaporation qu'avec les systèmes de pulvérisation.
- Profondeur du nettoyage: Déterminez le niveau de nettoyage nécessaire en fonction des contaminants. Pour éliminer simplement les hydrocarbures et les molécules d'eau, les méthodes à faible énergie ionique sont suffisantes. Pour éliminer les couches d'oxyde, une densité et une énergie ionique plus élevées sont nécessaires.
- Zone de couverture: Il faut tenir compte de la zone de couverture de la méthode de nettoyage. Les techniques telles que la plaque luminescente RF et le prétraitement au plasma peuvent couvrir de vastes zones, tandis que d'autres, telles que les prétraitements RF ou micro-ondes et les sources d'ions circulaires, offrent une couverture plus limitée.
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Nettoyage par pulvérisation cathodique:
- Technique: Utiliser la pulvérisation physique sous vide pour nettoyer les surfaces des solides. Cette méthode est efficace pour la science des surfaces, le dépôt sous vide et le placage ionique.
- Considérations: Faites attention aux problèmes potentiels tels que la surchauffe, l'incorporation de gaz, les dommages de surface et la rugosité. Veillez à ce que le plasma soit propre pour éviter la recontamination et gérer la redéposition du matériau pulvérisé, en particulier lorsque les pressions de pulvérisation sont élevées.
En suivant ces étapes et considérations détaillées, la chambre de pulvérisation et ses composants peuvent être nettoyés efficacement, ce qui garantit des performances optimales et des revêtements de haute qualité.
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