Pour évaporer un métal, il existe deux méthodes couramment utilisées : l'évaporation par faisceau d'électrons et l'évaporation thermique.
1. L'évaporation par faisceau d'électrons : Cette méthode utilise un faisceau d'électrons focalisé pour chauffer et évaporer les métaux. La température des électrons est généralement d'environ 3 000 °C et une source de courant continu à haute tension les accélère vers le matériau cible. Le faisceau d'électrons est dirigé vers un point spécifique de la surface du métal, ce qui provoque un chauffage et une vaporisation rapides. Ce procédé est particulièrement utile pour les métaux à point de fusion élevé, tels que le tungstène et le tantale. L'évaporation par faisceau d'électrons entraîne une contamination minimale du creuset.
2. L'évaporation thermique : Dans cette méthode, un évaporateur de métaux est utilisé pour évaporer divers métaux sur un substrat ou un film. L'évaporateur de métaux se compose généralement d'un creuset et d'une source de chaleur. Le métal est placé dans le creuset, qui est ensuite chauffé à haute température. Lorsque le métal atteint son point de fusion, il se transforme en liquide et finit par s'évaporer. Cette vapeur se condense sur les surfaces à l'intérieur de la chambre, les recouvrant d'une fine couche de métal. L'évaporation thermique peut être réalisée à l'aide d'un masque pour recouvrir sélectivement un échantillon de motifs spécifiques. Différents métaux tels que l'aluminium, l'or, le chrome, le germanium, le nickel, l'oxyde de silicium et le titane peuvent être utilisés pour l'évaporation.
Les deux méthodes nécessitent un environnement sous vide poussé afin de minimiser les collisions entre les gaz et les réactions indésirables au cours du processus de dépôt. L'évaporateur métallique doit être utilisé dans des conditions contrôlées et les protocoles de sécurité appropriés doivent être respectés. Il est essentiel d'obtenir l'autorisation et la formation d'une personne qualifiée, telle que le Dr Knobel du département de physique, avant d'utiliser l'évaporateur de métaux.
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