La pulvérisation est une méthode utilisée pour créer des couches minces sur une surface.
Cette technique est importante dans de nombreuses industries, comme l'électronique et l'optique.
Le processus comporte plusieurs étapes principales qui garantissent que le film est réalisé correctement.
Quelles sont les 6 étapes clés du processus de pulvérisation ?
1. Création d'un vide
Tout d'abord, la chambre où se déroule le processus est vidée de son air.
Cette opération est effectuée à une pression très basse, environ 10^-6 torr.
Cette étape est importante car elle permet de maintenir l'environnement propre.
2. Introduction du gaz de pulvérisation
Ensuite, un gaz comme l'argon est introduit dans la chambre.
Le type de gaz utilisé dépend du matériau fabriqué.
3. Génération de plasma
Une tension est appliquée pour créer une décharge lumineuse.
Cette décharge est un type de plasma, nécessaire pour l'étape suivante.
4. Ionisation du gaz
Dans le plasma, les électrons frappent les atomes de gaz.
Les atomes perdent ainsi des électrons et deviennent des ions chargés positivement.
5. Accélération des ions vers la cible
Les ions positifs sont ensuite poussés vers le matériau cible.
Ces ions frappent la cible avec beaucoup d'énergie.
6. Dépôt de la matière éjectée
Les impacts à haute énergie provoquent le détachement du matériau de la cible.
Ce matériau se dépose alors sur la surface, formant un film mince.
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