Un évaporateur thermique est un dispositif utilisé dans les processus de dépôt sous vide pour déposer des couches minces de matériaux sur des substrats. Il fonctionne en chauffant un matériau jusqu'à son point de vaporisation dans un environnement sous vide poussé, ce qui permet à la vapeur de se condenser sur un substrat et de former un film mince.
Processus de chauffage et de vaporisation :
Les évaporateurs thermiques utilisent une résistance électrique pour faire fondre le matériau et élever sa pression de vapeur à un niveau utile. Le processus de chauffage se déroule dans un vide poussé, qui a deux objectifs principaux : il permet à la vapeur de se déplacer vers le substrat sans interagir avec d'autres atomes en phase gazeuse, et il réduit l'incorporation d'impuretés provenant du gaz résiduel dans la chambre à vide. Cette méthode convient aux matériaux dont la pression de vapeur est élevée par rapport à l'élément chauffant, afin d'éviter la contamination du film.Types d'évaporation thermique :
- Il existe deux principaux types d'évaporation thermique :
- Le chauffage par résistance électrique : Cette méthode consiste à chauffer le matériau directement à l'aide de fils ou dans des creusets conducteurs. Elle convient aux matériaux qui peuvent être chauffés à des températures élevées sans endommager le récipient.
Évaporation par faisceau d'électrons : Cette méthode plus sophistiquée utilise un faisceau d'électrons à haute énergie pour chauffer un petit point sur le matériau, ce qui permet l'évaporation de matériaux dont la pression de vapeur est plus faible. Le faisceau d'électrons est généralement plié à un grand angle pour protéger le filament du pistolet du flux d'évaporation.
Dépôt et formation de film :
Lorsque le matériau vaporisé atteint le substrat, il se condense et forme un film mince. L'épaisseur du film peut être contrôlée en ajustant des paramètres tels que la température de l'évaporateur, la vitesse de dépôt et la distance entre l'évaporateur et le substrat.Applications et avantages :
L'évaporation thermique est largement utilisée dans la production de dispositifs électroniques et optiques, notamment les cellules solaires, les écrans OLED et les MEMS. Elle est appréciée pour sa polyvalence dans le dépôt d'une large gamme de matériaux et sa capacité à produire des couches minces de haute qualité.
Considérations pratiques :
