La puissance RF est utilisée dans le processus de pulvérisation, principalement pour faciliter le dépôt de matériaux isolants et pour gérer l'accumulation de charges sur le matériau cible. Voici une explication détaillée :
1. Dépôt de matériaux isolants :
La pulvérisation RF est particulièrement efficace pour déposer des couches minces de matériaux isolants. Contrairement à la pulvérisation DC, qui repose sur le bombardement direct d'électrons, la pulvérisation RF utilise l'énergie des radiofréquences (RF) pour ioniser le gaz dans la chambre. Ce processus d'ionisation est crucial car les matériaux isolants ne conduisent pas bien l'électricité, ce qui les rend inadaptés à la pulvérisation cathodique où un flux continu d'électrons est nécessaire. L'énergie RF, généralement à une fréquence de 13,56 MHz, crée un plasma qui peut pulvériser efficacement même les matériaux cibles non conducteurs.2. Gestion de l'accumulation de charges :
L'un des principaux défis de la pulvérisation est l'accumulation de charges sur le matériau cible, qui peut provoquer des arcs électriques et d'autres problèmes de contrôle de la qualité. La pulvérisation RF résout ce problème en alternant le potentiel électrique du courant. Pendant le demi-cycle positif de l'onde RF, les électrons sont attirés vers la cible, ce qui lui confère une polarisation négative et neutralise toute charge positive. Pendant le demi-cycle négatif, le bombardement ionique se poursuit, assurant une pulvérisation continue. Ce processus alternatif "nettoie" efficacement la surface de la cible de l'accumulation de charges, empêchant la formation d'arcs et garantissant un processus de pulvérisation stable.
3. Efficacité et polyvalence :
La pulvérisation RF peut fonctionner à des pressions plus faibles (1 à 15 mTorr) tout en maintenant le plasma, ce qui améliore son efficacité. Cette technique est polyvalente et peut être utilisée pour pulvériser une grande variété de matériaux, notamment des isolants, des métaux, des alliages et des composites. L'utilisation de l'énergie RF réduit également le risque d'effets de charge et d'arcs électriques, qui sont des problèmes courants dans la pulvérisation à courant continu, en particulier lorsqu'il s'agit de cibles isolantes.
