La pression du vide est mesurée à l'aide de jauges spécialisées conçues pour fonctionner dans les différentes plages de vide, du plus faible au plus élevé. La mesure de la pression du vide est essentielle pour assurer le bon fonctionnement des systèmes de vide et pour maintenir les conditions souhaitées dans les chambres à vide.
Techniques de mesure :
-
Manomètres : Différents types de manomètres sont utilisés en fonction de la plage de vide mesurée. Par exemple, dans la plage de vide grossier/faible (1000 à 1 mbar), des manomètres mécaniques tels que les tubes de Bourdon ou les manomètres à diaphragme peuvent être utilisés. Ces jauges fonctionnent selon le principe de la déformation mécanique en réponse aux variations de pression.
-
Jauges de conductivité thermique : Adaptées aux plages de vide fines/moyennes (1 à 10^-3 mbar), ces jauges mesurent la variation de la conductivité thermique d'un gaz en fonction des changements de pression. La jauge Pirani est un type courant, dans lequel la résistance d'un fil chauffé change lorsque la pression du gaz varie, ce qui affecte la perte de chaleur du fil.
-
Jauges d'ionisation : Elles sont utilisées pour les plages de vide élevé et ultra-élevé (10^-3 à 10^-11 mbar). Elles fonctionnent en ionisant des molécules de gaz et en mesurant le courant produit, qui est proportionnel à la densité du gaz et donc à la pression. Les jauges Bayard-Alpert et les jauges d'ionisation à cathode chaude en sont des exemples.
-
Jauges à suspension magnétique : Pour le vide extrême (< 10^-11 mbar), les jauges à suspension magnétique mesurent la force nécessaire pour suspendre une petite sphère dans un champ magnétique, qui est influencé par la pression du gaz environnant.
Précision et fiabilité :
Le choix de la jauge dépend du niveau de vide requis et de l'application spécifique. Par exemple, dans un système de dépôt sous vide, comme indiqué dans la référence, on utilise un manomètre à gamme complète capable d'afficher la pression des niveaux atmosphériques jusqu'à 10^-9 Torr. Cela garantit une surveillance précise de l'environnement de dépôt, ce qui est essentiel pour la qualité du dépôt de couches minces.
Intégration aux systèmes de vide :
Les jauges à vide sont généralement intégrées au système de vide, aux côtés des vannes et autres composants. Les jauges fournissent un retour d'information en temps réel sur la pression à l'intérieur de la chambre, ce qui permet aux opérateurs d'ajuster les réglages de la pompe à vide ou d'autres paramètres si nécessaire pour atteindre et maintenir le niveau de vide souhaité.
Conclusion :
La mesure de la pression du vide est un aspect essentiel de la gestion des systèmes de vide dans diverses industries et applications de recherche. La sélection de jauges appropriées garantit que les niveaux de vide sont maintenus avec précision, ce qui est essentiel pour la réussite de processus tels que les fours à vide, les accélérateurs de particules et les systèmes de dépôt de couches minces.
Découvrez la précision et la fiabilité dont vous avez besoin pour vos systèmes de vide avec la gamme complète de manomètres pour le vide de KINTEK SOLUTION. Des robustes tubes de Bourdon pour le vide grossier aux jauges d'ionisation de pointe pour les environnements à ultra-vide, nos jauges spécialisées sont conçues pour répondre aux exigences de chaque application. Faites confiance à notre expertise pour intégrer la jauge parfaite dans votre système, assurant un contrôle précis de la pression pour des performances optimales et un fonctionnement fiable dans une variété d'industries. Découvrez la différence KINTEK dès aujourd'hui !
