La pulvérisation DC pulsée est généralement considérée comme meilleure que la pulvérisation DC pour certaines applications, en particulier pour la pulvérisation réactive et pour les isolants. Cela est dû à sa capacité à atténuer les dommages causés par les décharges d'arc et à son meilleur contrôle des propriétés du film.
Atténuation des dommages causés par les décharges d'arc :
La pulvérisation DC pulsée est particulièrement avantageuse dans la pulvérisation ionique réactive où le risque de décharge d'arc est élevé. La décharge d'arc se produit en raison de l'accumulation de charges sur la cible, ce qui peut être préjudiciable à la fois au film mince et à l'alimentation électrique. La pulvérisation DC pulsée permet de gérer ce problème en déchargeant périodiquement la charge accumulée, empêchant ainsi l'accumulation qui conduit à des décharges d'arc. Cela rend le processus plus stable et moins dommageable pour l'équipement et les films déposés.Meilleur contrôle des propriétés du film :
La pulvérisation cathodique pulsée permet de mieux contrôler les diverses propriétés des films, telles que l'épaisseur, l'uniformité, la force d'adhérence, la contrainte, la structure du grain et les propriétés optiques ou électriques. Ceci est crucial dans les applications où un contrôle précis des caractéristiques du film est nécessaire. La nature pulsée de l'alimentation électrique permet un environnement plus contrôlé pour le dépôt des matériaux, ce qui conduit à des films de meilleure qualité.
Avantages du dépôt de matériaux isolants :
La pulvérisation traditionnelle à courant continu présente des limites lorsqu'il s'agit de déposer des matériaux isolants en raison de l'accumulation de charges sur la cible. La pulvérisation cathodique pulsée, ainsi que des avancées telles que la pulvérisation magnétron à impulsions de haute puissance (HiPIMS), surmontent ces limitations en fournissant une méthode de dépôt efficace des matériaux isolants. Ceci est particulièrement important pour le développement de matériaux et de revêtements avancés où les propriétés isolantes sont essentielles.
