L'évaporation par faisceau d'électrons est un procédé qui utilise une large gamme de matériaux, notamment des métaux, des céramiques et des diélectriques.
Ces matériaux sont sélectionnés parce qu'ils ont des points de fusion élevés, ce qui est essentiel pour déposer des couches minces sur différents substrats.
7 matériaux clés expliqués
1. Métaux traditionnels
Les métaux traditionnels utilisés dans l'évaporation par faisceau d'électrons sont l'aluminium, le cuivre, le nickel, le titane, l'étain et le chrome.
2. Métaux précieux
Les métaux précieux tels que l'or, l'argent et le platine sont également couramment utilisés dans ce procédé.
3. Métaux réfractaires
Les métaux réfractaires, tels que le tungstène et le tantale, sont choisis pour leur capacité à résister à des températures extrêmement élevées.
4. Autres matériaux
Les autres matériaux comprennent l'oxyde d'indium et d'étain et le dioxyde de silicium, qui sont utilisés pour des applications spécifiques.
5. Matériaux des substrats
Les substrats sur lesquels ces matériaux sont déposés peuvent varier considérablement.
Les substrats les plus courants sont les plaquettes de silicium, de quartz et de saphir pour l'électronique, et le nitrure de silicium pour les céramiques.
Le verre est également utilisé, en particulier dans des applications telles que les panneaux solaires et le verre architectural.
6. Composants du système
L'évaporation par faisceau d'électrons comprend plusieurs composants clés :
- La chambre à vide : Elle est essentielle pour maintenir un environnement propre et prévenir la contamination.
- Source de faisceau d'électrons : Il s'agit généralement d'un filament en tungstène qui libère des électrons concentrés dans un faisceau par des aimants.
- Creuset : Il contient le matériau source et peut être fabriqué en cuivre, en tungstène ou en céramique technique, en fonction des exigences de température.
7. Inconvénients
Malgré leurs avantages, les systèmes d'évaporation par faisceaux d'électrons nécessitent des tensions élevées, qui peuvent être dangereuses et requièrent des précautions de sécurité importantes.
En outre, l'installation et la maintenance de ces systèmes peuvent être complexes et coûteuses.
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