L'évaporation par faisceau d'électrons utilise une large gamme de matériaux, notamment des métaux, des céramiques et des diélectriques. Ces matériaux sont choisis pour leur point de fusion élevé et sont utilisés pour déposer des couches minces sur différents substrats.
Matériaux d'évaporation :
- L'évaporation par faisceau d'électrons est particulièrement adaptée aux matériaux dont la température de fusion est élevée. Il s'agit notamment des matériaux suivantsLes métaux traditionnels :
- Aluminium, cuivre, nickel, titane, étain et chrome.Métaux précieux :
- Or, argent et platine.Métaux réfractaires :
- Tungstène et tantale.Autres matériaux :
Oxyde d'indium et d'étain, dioxyde de silicium, etc.
Ces matériaux sont choisis en raison de leur capacité à résister aux températures élevées générées par le faisceau d'électrons, qui peuvent atteindre plus de 2 000 degrés Celsius. La polyvalence de l'évaporation par faisceau d'électrons permet de déposer ces matériaux sur différents substrats.Matériaux des substrats :
- Les substrats sur lesquels ces matériaux sont déposés peuvent également varier considérablement :
- Électronique : Plaques de silicium, de quartz et de saphir.
- Céramiques : Nitrure de silicium.
Le verre :
Courant dans des applications telles que les panneaux solaires et le verre architectural.Le choix du substrat dépend de l'application envisagée et des propriétés requises pour le produit final.
- Applications et composants du système :
- L'évaporation par faisceau d'électrons est utilisée dans de nombreuses industries pour des applications nécessitant une résistance aux températures élevées, une résistance à l'usure et aux produits chimiques, ou des propriétés optiques spécifiques. Le processus comprend plusieurs composants clés :Chambre à vide :
- Indispensable pour maintenir un environnement propre et empêcher la contamination des matériaux évaporés.Source de faisceau d'électrons :
Il s'agit généralement d'un filament en tungstène, chauffé pour libérer des électrons qui sont ensuite concentrés dans un faisceau par des aimants.
Creuset : Il contient le matériau source et peut être fabriqué à partir de matériaux tels que le cuivre, le tungstène ou des céramiques techniques, en fonction des exigences de température du processus d'évaporation.
Le système est conçu pour traiter des lots de production en grande quantité, ce qui le rend efficace pour les processus de fabrication dans des industries telles que l'aérospatiale, l'automobile et l'électronique.
Inconvénients :
