Le plasma micro-ondes offre plusieurs avantages, en particulier dans des procédés tels que le dépôt chimique en phase vapeur par plasma micro-ondes (MPCVD) et les techniques de pulvérisation cathodique.
7 Avantages du plasma micro-ondes
1. Efficacité énergétique et fonctionnement sans électrode
Le plasma micro-ondes est un procédé sans électrode.
Cela signifie qu'il n'a pas besoin d'électrodes pour générer du plasma.
Cela élimine la formation d'une gaine de plasma autour des électrodes, qui peut consommer de l'énergie dans le cas de la CVD assistée par plasma à courant continu.
Cette absence d'électrodes rend le procédé plus efficace sur le plan énergétique et réduit la complexité de l'installation.
2. Stabilité et reproductibilité
Le plasma non isotherme généré par les micro-ondes est très stable et reproductible.
Cette stabilité permet de réaliser des processus de dépôt en continu qui peuvent durer plusieurs heures, voire plusieurs jours, sans interruption.
Ceci est crucial pour les applications nécessitant des productions à grande échelle ou de longue durée.
3. Évolutivité et modularité
La disponibilité d'alimentations et d'applicateurs micro-ondes de 1 à 2 kW facilite l'utilisation d'unités modulaires.
Le taux de croissance de la MPCVD est proportionnel à la puissance des micro-ondes.
Cela signifie que l'augmentation de la puissance permet d'accroître le processus.
Cette évolutivité est bénéfique pour étendre la production à des substrats plus grands ou à des volumes plus importants.
4. Amélioration de la densité et du contrôle du plasma
L'utilisation d'un magnétron dans les systèmes de plasma micro-ondes crée une décharge de tension plus faible et de courant plus élevé que les méthodes de pulvérisation standard.Il en résulte une plus grande densité d'espèces ionisées, ce qui entraîne une pulvérisation plus rapide du matériau cible.Les alimentations modernes utilisées dans ces systèmes offrent un haut degré de stabilité et de contrôle. Les processus de plasma et de revêtement sont ainsi faciles à réguler et peuvent être étendus à de très grandes dimensions.
