Les composants du procédé MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition) comprennent le système d'alimentation de la source, le système de transport et de contrôle du flux de gaz, la chambre de réaction et le système de contrôle de la température, le traitement des gaz résiduels et le système d'alarme de protection de la sécurité, ainsi que le fonctionnement automatique et le système de contrôle électronique. Chaque composant joue un rôle crucial dans le fonctionnement précis et sûr du procédé MOCVD.
Système d'alimentation de la source :
Le système d'alimentation en source du procédé MOCVD est chargé de fournir les précurseurs métallo-organiques et les gaz réactifs nécessaires. Ces précurseurs sont généralement des composés métallo-organiques et les gaz réactifs peuvent être de l'hydrogène, de l'azote ou d'autres gaz inertes. Le système garantit que ces matériaux sont acheminés vers la chambre de réaction de manière contrôlée, ce qui est essentiel pour la qualité et la reproductibilité de la croissance de la couche mince.Système de transport et de contrôle du débit des gaz :
Ce système est indispensable pour mélanger les précurseurs et les gaz réactifs à l'entrée de la chambre de réaction. Il fonctionne dans des conditions de débit et de pression contrôlées afin d'assurer une distribution et une concentration correctes des gaz. La précision du débit de gaz est essentielle pour maintenir les réactions chimiques souhaitées pendant le processus de dépôt.
Chambre de réaction et système de contrôle de la température :
La chambre de réaction est l'endroit où se produit le dépôt réel des matériaux sur le substrat. Il s'agit généralement d'une chambre à parois froides en quartz ou en acier inoxydable fonctionnant à la pression atmosphérique ou à basse pression. Le système de contrôle de la température maintient le substrat à une température précise, généralement comprise entre 500 et 1200 °C, qui est cruciale pour les réactions de décomposition thermique nécessaires à la croissance du film.Traitement des gaz de queue et système d'alarme pour la protection de la sécurité :
Étant donné la nature inflammable, explosive et toxique des matières premières utilisées dans le procédé MOCVD, un système robuste de traitement des gaz résiduels est nécessaire pour manipuler et neutraliser ces gaz en toute sécurité après leur utilisation dans la chambre de réaction. Le système d'alarme de protection de la sécurité surveille le système pour détecter tout danger potentiel et avertit les opérateurs en cas de problème, garantissant ainsi la sécurité du processus.
