Les différents types de recuit dans les semi-conducteurs comprennent le recuit à l'azote, le recuit au gaz de formation, le recuit thermique rapide, le recuit de diffusion et le recuit général.
1. Recuit à l'azote : Dans ce processus, de l'azote pur circule dans la chambre contenant les plaquettes. Il est utilisé pour modifier la microstructure du matériau semi-conducteur et améliorer ses propriétés.
2. Recuit au gaz de formage : Ce procédé est similaire au recuit à l'azote, mais il implique l'utilisation d'un gaz de formation, qui est un mélange d'azote et d'hydrogène. Le recuit au gaz de formage est également utilisé pour modifier la microstructure et les propriétés du matériau semi-conducteur.
3. Recuit thermique rapide : Ce procédé consiste à chauffer une seule plaquette à la fois à une température élevée pendant une courte durée. Il est utilisé pour modifier les propriétés électriques du matériau semi-conducteur.
4. Recuit de diffusion : Le recuit de diffusion est effectué à des températures très élevées et sur de longues durées. Il est utilisé pour éliminer les inhomogénéités de structure ou les différences de concentration dans le matériau semi-conducteur. Ce processus améliore la solidité et la résistance à la corrosion du matériau.
Outre ces types de recuit spécifiques, il existe également un processus de recuit général qui est utilisé pour soulager les contraintes internes, améliorer l'uniformité et la structure interne du matériau semi-conducteur et augmenter sa ductilité. Ce processus de recuit général consiste à chauffer le matériau au-dessus de sa température de recristallisation, à maintenir une température appropriée pendant une durée déterminée, puis à le refroidir.
Globalement, le choix de la technique de recuit dépend du type de matériau et des propriétés souhaitées de la plaquette semi-conductrice.
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