Le recuit est un processus crucial dans la fabrication des semi-conducteurs qui consiste à chauffer et à refroidir les matériaux pour modifier leurs propriétés. Il existe plusieurs types de techniques de recuit, chacune ayant ses propres applications et avantages.
5 méthodes clés expliquées
1. Recuit à l'azote
Le recuit à l'azote consiste à faire passer de l'azote pur dans une chambre contenant les plaquettes de semi-conducteurs. Ce processus est utilisé pour modifier la microstructure du matériau semi-conducteur, améliorant ainsi ses propriétés générales.
2. Recuit de mise en forme
Le recuit par gaz de formage est similaire au recuit à l'azote, mais il utilise un gaz de formage, qui est un mélange d'azote et d'hydrogène. Cette méthode vise également à modifier la microstructure et à améliorer les propriétés du matériau semi-conducteur.
3. Recuit thermique rapide
Le recuit thermique rapide consiste à chauffer des tranches individuelles à des températures élevées pendant une courte période. Cette technique est utilisée pour influencer les propriétés électriques du matériau semi-conducteur.
4. Recuit de diffusion
Le recuit de diffusion est effectué à des températures extrêmement élevées pendant de longues périodes. Il est utilisé pour éliminer les inhomogénéités structurelles ou les différences de concentration dans le matériau semi-conducteur. Ce processus améliore la solidité et la résistance à la corrosion du matériau.
5. Recuit général
Le recuit général est un processus plus large utilisé pour soulager les contraintes internes, améliorer l'uniformité et la structure interne et accroître la ductilité. Il consiste à chauffer le matériau au-dessus de sa température de recristallisation, à maintenir une température appropriée pendant une durée déterminée, puis à le refroidir.
Le choix de la technique de recuit dépend du type de matériau semi-conducteur et des propriétés souhaitées pour la plaquette.
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