Le dépôt en phase vapeur est une technique utilisée pour créer des couches minces ou des revêtements sur un substrat.
Il s'agit de vaporiser des matériaux solides ou liquides en atomes ou en molécules.
Ces atomes ou molécules sont ensuite transportés vers le substrat dans un environnement gazeux/plasma sous vide ou à basse pression.
Une fois que les atomes ou les molécules atteignent le substrat, ils se condensent et forment un film mince.
7 points clés à comprendre
1. Différentes méthodes de dépôt en phase vapeur
Il existe différentes méthodes de dépôt en phase vapeur, telles que le dépôt physique en phase vapeur (PVD).
2. Dépôt physique en phase vapeur (PVD)
Dans le dépôt physique en phase vapeur, les atomes ou les molécules sont retirés d'une source par des moyens physiques, tels que le dépôt par pulvérisation cathodique.
3. Dépôt par pulvérisation cathodique
Dans le dépôt par pulvérisation cathodique, les atomes sont libérés d'une source solide ou liquide par échange de quantité de mouvement.
4. Transport de vapeur
Au cours du processus de dépôt en phase vapeur, les atomes ou les molécules sont transportés sous forme de vapeur dans un environnement gazeux/plasma sous vide ou à basse pression.
5. Dépôt réactif
Du plasma ou des ions sont souvent présents dans la phase vapeur. Un gaz réactif peut également être introduit dans la vapeur pendant le processus de dépôt, ce qui entraîne un dépôt réactif.
6. Formation du film
Le matériau de dépôt est transformé en vapeur dans une chambre de pulvérisation sous faible pression, généralement un vide partiel. La vapeur se condense ensuite sur le substrat dans la chambre, formant un film mince.
7. Contrôle de l'épaisseur du film
L'épaisseur du film peut être contrôlée par la durée du processus de pulvérisation, ainsi que par d'autres facteurs tels que la masse des matériaux impliqués et le niveau d'énergie des particules de revêtement.
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