Le dépôt en phase vapeur est une technique utilisée pour créer des films minces ou des revêtements sur un substrat. Il s'agit de vaporiser des matériaux solides ou liquides en atomes ou en molécules et de les transporter dans un environnement gazeux/plasma sous vide ou à basse pression jusqu'au substrat. Une fois que les atomes ou les molécules atteignent le substrat, ils se condensent et forment un film mince.
Il existe différentes méthodes de dépôt en phase vapeur, comme le dépôt physique en phase vapeur (PVD). Dans le cas du dépôt en phase vapeur, les atomes ou les molécules sont retirés d'une source par des moyens physiques, tels que le dépôt par pulvérisation cathodique. Dans le cas du dépôt par pulvérisation cathodique, les atomes sont libérés d'une source solide ou liquide par échange de quantité de mouvement.
Au cours du processus de dépôt en phase vapeur, les atomes ou les molécules sont transportés sous forme de vapeur dans un environnement gazeux/plasma sous vide ou à basse pression. Du plasma ou des ions sont souvent présents dans la phase vapeur. Un gaz réactif peut également être introduit dans la vapeur pendant le processus de dépôt, ce qui entraîne un dépôt réactif.
Le matériau de dépôt est transformé en vapeur dans une chambre de pulvérisation sous faible pression, généralement un vide partiel. La vapeur se condense ensuite sur le substrat dans la chambre, formant un film mince. L'épaisseur du film peut être contrôlée par la durée du processus de pulvérisation, ainsi que par d'autres facteurs tels que la masse des matériaux impliqués et le niveau d'énergie des particules de revêtement.
Les systèmes de dépôt en phase vapeur, tels que les systèmes de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), sont couramment utilisés dans les fours industriels pour déposer des couches minces et d'autres matériaux. Les procédés CVD sont utilisés pour déposer des matériaux tels que les métaux, les semi-conducteurs et les plastiques. Ces systèmes utilisent un flux de gaz chauds pour former un film sur le substrat.
En résumé, le dépôt en phase vapeur est un processus qui consiste à vaporiser des matériaux et à les transporter vers un substrat, où ils se condensent pour former un film mince. Il est utilisé dans diverses industries à des fins de revêtement, et différentes techniques telles que le dépôt physique en phase vapeur et le dépôt chimique en phase vapeur sont employées en fonction des exigences spécifiques.
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