Les tubes de quartz sont capables de supporter une pression importante.
La résistance à la traction du quartz fondu avec une bonne qualité de surface est supérieure à 4,8 x 10^7 Pa (7 000 psi).
Cela signifie que le tube de quartz peut résister à des pressions allant jusqu'à 4,8 x 10^7 Pa ou 7 000 psi sans se rompre ou tomber en panne.
5 points clés
1. Résistance à la traction
La résistance à la traction du quartz fondu avec une bonne qualité de surface est supérieure à 4,8 x 10^7 Pa (7 000 psi).
2. Système de four LPCVD
Dans le contexte du système de four LPCVD mentionné, la pression de travail est spécifiée à 45 000 psi (310 MPa).
Cela indique que le tube de quartz utilisé dans ce système est conçu pour supporter sans problème des pressions allant jusqu'à 45 000 psi.
3. Pression de la chambre à vide
La chambre à vide du système de dépôt mentionné a la capacité d'atteindre une pression minimale en peu de temps.
La pression à l'intérieur de la chambre à vide joue un rôle crucial dans le processus de couverture de l'échantillon et la qualité du film mince déposé.
Pour contrôler avec précision la pression à l'intérieur de la chambre, des manomètres fiables et précis sont utilisés.
Le manomètre utilisé dans le système de dépôt mentionné est capable d'afficher la pression dans la plage de la pression atmosphérique jusqu'à 10^-9 Torr.
4. Importance de la basse pression
Il convient également de noter que le maintien d'une basse pression est important dans certains processus pour éviter les effets chimiques sur l'échantillon.
Par exemple, dans le cas d'une atmosphère de carbone dans un four à vide, il est nécessaire de maintenir la pression en dessous de 1 ou 2 mm pour éviter tout effet chimique appréciable sur l'échantillon.
Un tube en porcelaine réfractaire fermé à une extrémité et suspendu à la partie froide du four est généralement utilisé pour protéger l'échantillon de la vapeur ou des particules de carbone.
Ce tube contribue à diminuer la convention des gaz réducteurs à travers l'échantillon, réduisant ainsi l'action réductrice globale.
5. Capacité de pression spécifique
Globalement, la pression spécifique qu'un tube de quartz peut supporter dépend de sa conception et de sa qualité.
Dans les références mentionnées, les tubes de quartz sont conçus pour supporter des pressions élevées, le système de four LPCVD ayant une pression de travail de 45 000 psi (310 MPa).
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