Les sources d'évaporation thermique sont essentielles pour le dépôt de divers matériaux.
Ces sources comprennent principalement des bateaux, des paniers, des filaments et des tiges revêtues.
Elles sont généralement fabriquées à partir de matériaux tels que le tungstène, le tantale ou le molybdène.
Les méthodes de chauffage de ces sources sont soit l'évaporation par filament, soit l'évaporation par faisceau d'électrons (E-Beam).
Les 5 principaux types expliqués
1. Bateaux
Les cuves sont un type courant de source d'évaporation thermique.
Il en existe de différentes tailles.
Les bateaux plus grands nécessitent généralement une puissance plus élevée pour le même taux de dépôt.
Cependant, ils peuvent supporter des taux de dépôt maximaux plus élevés.
2. Évaporation par filament
L'évaporation du filament implique l'utilisation d'un simple élément chauffant électrique.
Cette méthode est simple et repose sur la résistance du filament pour générer de la chaleur.
3. Évaporation par faisceau d'électrons
L'évaporation par faisceau d'électrons utilise un faisceau d'électrons pour chauffer directement le matériau source.
Cette méthode est particulièrement utile pour les matériaux réfractaires ou dont l'évaporation nécessite des températures plus élevées.
4. Systèmes d'évaporation en couche mince
Les systèmes d'évaporation de couches minces offrent des avantages tels que des taux de dépôt élevés.
Ils permettent également un contrôle en temps réel de la vitesse et de l'épaisseur.
Un bon contrôle directionnel du flux d'évaporation est bénéfique pour des procédés tels que le Lift Off, qui permet d'obtenir des revêtements à motifs directs.
5. Matériaux d'évaporation thermique
Les matériaux d'évaporation thermique comprennent diverses substances telles que l'or, l'argent, le titane, le dioxyde de silicium, le tungstène et le cuivre.
Ces matériaux peuvent se sublimer ou s'évaporer à des températures proches de leur point de fusion, en fonction de leur pression de vapeur.
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