Les sources d'évaporation thermique comprennent principalement des bateaux, des paniers, des filaments et des tiges revêtues, généralement fabriqués à partir de matériaux tels que le tungstène, le tantale ou le molybdène. Les méthodes de chauffage de ces sources sont soit l'évaporation par filament, qui utilise des éléments chauffants électriques, soit l'évaporation par faisceau d'électrons (E-Beam), où un faisceau d'électrons chauffe le matériau source.
Les chaudières sont un type courant de source d'évaporation thermique et existent en différentes tailles. Les cuves plus grandes nécessitent généralement une puissance plus élevée pour la même vitesse de dépôt, mais peuvent supporter des vitesses de dépôt maximales plus élevées.
L'évaporation de filaments implique l'utilisation d'un simple élément chauffant électrique, ou filament, pour chauffer le matériau source. Cette méthode est simple et repose sur la résistance du filament pour générer de la chaleur.
Évaporation par faisceau d'électrons utilise un faisceau d'électrons pour chauffer directement le matériau source et le faire s'évaporer. Cette méthode est particulièrement utile pour les matériaux réfractaires ou nécessitant des températures plus élevées pour s'évaporer.
Les systèmes d'évaporation de couches minces offrent des avantages tels que des vitesses de dépôt élevées, un contrôle en temps réel de la vitesse et de l'épaisseur, et un bon contrôle directionnel du flux d'évaporation, ce qui est bénéfique pour des processus tels que Lift Off pour obtenir des revêtements à motifs directs.
Matériaux d'évaporation thermique Les matériaux d'évaporation thermique comprennent diverses substances telles que l'or, l'argent, le titane, le dioxyde de silicium, le tungstène et le cuivre. Ces matériaux peuvent se sublimer ou s'évaporer à des températures proches de leur point de fusion, en fonction de leur pression de vapeur.
La technologie de l'évaporation thermique a considérablement évolué depuis son utilisation initiale en 1912, avec des avancées telles que l'introduction de l'évaporation par faisceau électronique et de l'évaporation dans les plasmas, qui ont étendu la technique à l'évaporation réactive.
En résumé, les sources d'évaporation thermique sont essentielles pour le dépôt de divers matériaux et sont chauffées soit par des filaments électriques, soit par des faisceaux d'électrons. Ces sources sont fabriquées à partir de matériaux à haute température et sont conçues pour résister à la chaleur générée pendant le processus d'évaporation. Le choix de la source et de la méthode de chauffage dépend des exigences spécifiques du matériau à évaporer et des caractéristiques de dépôt souhaitées.
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