L'étalonnage d'un vide consiste à vérifier que les instruments utilisés pour mesurer la pression du vide fournissent des mesures précises. Pour ce faire, on compare les mesures produites par les instruments à celles d'une norme ou à des tolérances admissibles. Un étalonnage régulier est important pour garantir la précision répétée des mesures de pression sous vide.
Afin de déterminer la précision requise pour travailler sous vide, il est nécessaire de considérer l'application spécifique et ses exigences en matière de contrôle du vide. Pour certaines applications telles que les étuves de séchage sous vide ou la filtration, le contrôle du vide peut ne pas être absolument nécessaire. En revanche, pour d'autres applications, le contrôle du vide est indispensable.
L'étalonnage d'un vide implique divers composants et systèmes. Il s'agit notamment d'un panneau de régulation et de contrôle (qui peut comprendre un automate de sécurité et un logiciel), d'un système d'eau de refroidissement pour répondre aux besoins de refroidissement du four et des pompes, d'un système d'alimentation en gaz avec un contrôle sophistiqué de la pression, et de la mesure de la pureté du gaz à l'aide de mesures du point de rosée.
En termes de précision des mesures, la forme et les dimensions de chaque pièce avant assemblage et des chambres à vide assemblées sont importantes. Ces mesures nécessitent souvent un contrôle tridimensionnel avec une précision de l'ordre du micromètre. Les outils manuels tels que les mètres à ruban et les pieds à coulisse peuvent ne pas suffire dans ces situations, c'est pourquoi les machines à mesurer tridimensionnelles (MMT) à pont sont couramment utilisées. Cependant, il peut être difficile de déplacer des chambres à vide de grande taille dans une salle de mesure et de les installer sur une MMT. Des mesures sur site peuvent également s'avérer nécessaires, ce qui requiert des compétences de mesure de haut niveau et plusieurs personnes pour les chambres de grande taille.
Travailler dans des conditions de vide poussé (HV), d'ultra-vide (UHV) et d'extrême-vide (XHV) nécessite une attention particulière à la conception du système et aux matériaux utilisés. La planéité des faces d'extrémité et des surfaces d'étanchéité des ouvertures et des joints dans une chambre à vide doit être mesurée avec précision. Les erreurs de planéité peuvent entraîner des problèmes tels que des fuites et affecter la précision opérationnelle des chambres à vide. Il est important d'effectuer des inspections minutieuses, de mesurer la précision de l'usinage au cours du processus de fabrication et de comparer les mesures aux données de conception CAO.
Globalement, l'étalonnage d'un vide implique d'assurer des mesures précises de la pression du vide, de prendre en compte les exigences spécifiques de l'application en matière de contrôle du vide et de mesurer soigneusement la forme et les dimensions des chambres à vide et de leurs composants.
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