La pulvérisation magnétron est une technique de dépôt de couches minces qui utilise un champ magnétique pour améliorer l'efficacité de la génération de plasma près de la surface de la cible, facilitant ainsi le dépôt de matériaux sur un substrat. Cette méthode a été mise au point dans les années 1970 et se caractérise par sa vitesse élevée, ses faibles dommages et son fonctionnement à basse température.
Amélioration de la génération de plasma :
La principale innovation de la pulvérisation magnétron est l'ajout d'un champ magnétique fermé sur la surface de la cible. Ce champ magnétique piège les électrons près de la cible, les faisant spiraler le long des lignes de flux magnétiques au lieu de les attirer immédiatement vers le substrat. Ce piégeage augmente la probabilité de collisions entre les électrons et les atomes d'argon (ou d'autres atomes de gaz inertes utilisés dans le processus), ce qui stimule la production de plasma. L'augmentation de la densité du plasma près de la surface de la cible entraîne une pulvérisation plus efficace du matériau cible.Mécanisme de pulvérisation :
Dans la pulvérisation magnétron, des ions à haute énergie sont accélérés vers un matériau cible par un champ électrique. Ces ions entrent en collision avec la cible, transférant de l'énergie cinétique aux atomes de la cible. Si l'énergie transférée est suffisante pour surmonter l'énergie de liaison des atomes de la cible, ces atomes sont éjectés de la surface par un processus connu sous le nom de pulvérisation cathodique. Le matériau éjecté se dépose alors sur un substrat voisin, formant un film mince.
Avantages et applications :
L'utilisation d'un champ magnétique dans la pulvérisation magnétron permet un processus de dépôt plus contrôlé et plus efficace que les méthodes de pulvérisation traditionnelles. Cette efficacité se traduit par des taux de dépôt plus élevés et une meilleure qualité de film. Les applications de la pulvérisation magnétron sont diverses, allant du revêtement de la microélectronique et de la modification des propriétés des matériaux à l'ajout de films décoratifs sur les produits.
