Les métaux comme le tungstène, le molybdène et le tantale peuvent s'évaporer, en particulier dans les processus d'évaporation thermique.
Ces métaux sont particulièrement utiles en raison de leur point de fusion élevé et de leur faible pression de vapeur.
Ils sont donc idéaux pour les sources d'évaporation, en particulier dans les environnements sous vide où le dépôt de couches minces est nécessaire.
1. Le tungstène
Le tungstène est connu pour avoir le point de fusion le plus élevé parmi les métaux purs, à 3422°C (6192°F).
Il a également la pression de vapeur la plus basse au-dessus de 1650°C (3000°F).
Le tungstène est largement utilisé dans les processus d'évaporation en raison de sa résistance élevée à la traction et de son faible coefficient de dilatation thermique.
Cependant, le tungstène peut s'allier à des matériaux comme l'aluminium ou l'or pendant l'évaporation.
Il est donc nécessaire d'utiliser des matériaux alternatifs tels que des bateaux ou des paniers revêtus d'alumine dans de tels cas.
2. Molybdène et tantale
Le molybdène et le tantale sont également des métaux réfractaires avec des points de fusion élevés.
Ils conviennent aux processus d'évaporation, en particulier lorsque le tungstène n'est pas approprié ou lorsque des propriétés d'alliage spécifiques sont requises.
3. Alliages et évaporation
L'évaporation des alliages peut s'avérer difficile en raison des différentes pressions de vapeur des métaux qui les composent.
Des techniques telles que la fusion simultanée dans des creusets séparés ou la pulvérisation sont utilisées pour gérer efficacement l'évaporation des alliages.
4. Application au dépôt de couches minces
Ces métaux sont essentiels dans des processus tels que l'évaporation par faisceau d'électrons.
Un contrôle précis de la vitesse de dépôt et des propriétés du film est essentiel.
La capacité de déposer des films minces avec des propriétés de réflexion contrôlées est précieuse dans des applications telles que l'optique laser et le verre architectural.
5. Exigences en matière d'équipement
Les sources d'évaporation, en particulier celles qui utilisent des bateaux, nécessitent des sources électriques de haute puissance avec une faible tension et des courants élevés.
Des filaments de tungstène multibrins et des paniers métalliques sont couramment utilisés pour évaporer les métaux et d'autres matériaux.
Cela permet de s'assurer que les matériaux se subliment ou ne mouillent pas le panier pendant la fusion.
6. Résumé
Les métaux comme le tungstène, le molybdène et le tantale sont capables de s'évaporer.
Ils sont particulièrement utiles dans les processus de dépôt de couches minces à haute température et sous vide.
Leurs propriétés uniques les rendent indispensables dans diverses applications industrielles et scientifiques.
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