La pulvérisation a été observée et étudiée pour la première fois en 1852 par William Robert Grove. Grove a mené des expériences au cours desquelles il a utilisé une pointe de fil comme source de revêtement et a pulvérisé un dépôt sur une surface d'argent hautement polie à une pression d'environ 0,5 Torr. Bien que Grove ait été le premier à étudier ce phénomène, d'autres l'avaient observé avant lui en examinant des décharges lumineuses.
Le processus de pulvérisation implique l'éjection d'atomes ou de molécules de la surface d'un matériau sous l'effet d'un bombardement de particules à haute énergie. Cette technique est restée une curiosité scientifique jusque dans les années 1940, lorsqu'elle a commencé à être utilisée commercialement comme procédé de revêtement, en particulier avec la pulvérisation cathodique. Cependant, la pulvérisation cathodique présentait des limites telles que des taux de dépôt faibles et des coûts élevés. Ces problèmes ont conduit au développement de la pulvérisation magnétron au milieu des années 1970, une variante magnétiquement améliorée par rapport aux méthodes précédentes.
La pulvérisation a évolué de manière significative depuis sa première observation dans les années 1850. Elle est devenue une méthode éprouvée pour le dépôt de divers matériaux en couches minces et a trouvé des applications allant des revêtements réfléchissants pour les miroirs et les matériaux d'emballage aux dispositifs semi-conducteurs avancés. La technologie n'a cessé de progresser, avec plus de 45 000 brevets américains délivrés depuis 1976 en rapport avec la pulvérisation, ce qui souligne son importance dans la science et la technologie des matériaux.
En résumé, l'invention de la pulvérisation cathodique remonte à 1852, lorsque William Robert Grove a étudié et démontré le processus pour la première fois. Depuis lors, elle a connu un développement significatif et est aujourd'hui une technique largement utilisée dans diverses industries en raison de sa polyvalence et des progrès réalisés dans la technologie de la pulvérisation.
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