La pulvérisation est un procédé de dépôt de couches minces dans lequel des atomes sont éjectés d'un matériau cible par bombardement de particules à haute énergie, puis déposés sur un substrat. Ce procédé est largement utilisé dans des industries telles que les semi-conducteurs, les lecteurs de disques, les CD et les appareils optiques.
Explication détaillée :
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Mécanisme de la pulvérisation cathodique :
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La pulvérisation cathodique implique l'utilisation d'un plasma de particules ou d'ions à haute énergie qui frappent la surface d'une cible solide. Ce bombardement provoque l'éjection des atomes de la cible. Les atomes éjectés traversent ensuite le vide et se déposent sur un substrat, formant un film mince. Ce procédé est un type de dépôt physique en phase vapeur (PVD), ce qui signifie que le dépôt s'effectue par des moyens physiques plutôt que chimiques.Développement historique :
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Le phénomène de pulvérisation a été observé pour la première fois au XIXe siècle par des scientifiques comme Grove et Faraday. Cependant, ce n'est qu'au milieu du 20e siècle que la pulvérisation est devenue un processus industriel important, en particulier avec le développement de technologies telles que les plaques de rasoir en chrome pulvérisé dans les années 1960. La compréhension théorique et les applications pratiques de la pulvérisation ont considérablement évolué depuis sa découverte, grâce aux progrès de la technologie du vide et de la physique des plasmas.
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Types de pulvérisation :
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Il existe plusieurs variantes du processus de pulvérisation, notamment la pulvérisation cathodique, la pulvérisation à diode, la pulvérisation RF ou DC, la pulvérisation par faisceau d'ions et la pulvérisation réactive. Malgré les différents noms et les techniques spécifiques, toutes ces méthodes impliquent fondamentalement l'éjection d'atomes d'un matériau cible par bombardement ionique.Applications :
La pulvérisation est cruciale pour la fabrication de films minces aux propriétés précises, tels que ceux nécessaires aux semi-conducteurs, aux dispositifs optiques et aux revêtements de précision. Les films produits par pulvérisation sont connus pour leur excellente uniformité, leur densité et leur adhérence, ce qui les rend appropriés pour une large gamme d'applications où ces caractéristiques sont essentielles.
