L'importance des fuites dans un système à vide peut être résumée comme suit :
1. Sécurité de l'opérateur et du produit : Une fuite dans un système de vide peut entraîner l'égression de gaz ou de fluides toxiques, ce qui constitue un risque pour la sécurité de l'opérateur. Elle peut également permettre à l'air de pénétrer dans le système, ce qui peut contribuer à la formation de mélanges explosifs. Il est essentiel de garantir l'étanchéité du système de vide pour maintenir un environnement de travail sûr et protéger l'intégrité des produits traités.
2. Entretien de la pression et du vide : Les fuites dans un système de vide peuvent entraîner une augmentation significative de la pression ou une diminution des niveaux de vide. Des fuites d'air ou d'eau, même légères, peuvent surcharger les pompes à vide et compromettre les conditions de pression/vide souhaitées. Il convient d'accorder une attention particulière à l'ensemble du système de vide, y compris les joints, les soudures, les joints d'étanchéité, les vannes, les pompes et l'enceinte elle-même, afin de détecter et de traiter les fuites éventuelles.
3. Impact de la maintenance : Lors des opérations de maintenance, il faut tenir compte de l'impact sur l'intégrité du système de vide. Le dépannage de taux de fuite inacceptables implique souvent de remonter jusqu'à la dernière opération de maintenance effectuée. Les fuites au niveau des joints d'étanchéité, des joints de brasure et d'autres zones peuvent nuire au maintien de niveaux de vide opérationnels adéquats et à la qualité du produit final. En outre, la recherche et la correction des fuites peuvent être un processus long et méticuleux.
4. Maintenance préventive : Le suivi des fuites antérieures et le remplacement des produits d'étanchéité temporaires utilisés comme mesures palliatives sont essentiels pour un bon programme de maintenance préventive. Cela permet de minimiser les problèmes futurs et de garantir l'efficacité à long terme du système d'aspiration.
5. Essai d'étanchéité : Les lectures de la jauge à vide ne donnent pas toujours une indication précise des conditions réelles à l'intérieur d'un four à vide. Deux fours identiques fonctionnant à la même pression peuvent produire des résultats de traitement thermique différents en raison de différences d'étanchéité ou de taux de fuite. Les contrôles réguliers du taux de fuite prescrits par le fabricant du four permettent d'éviter les problèmes liés aux fuites d'air et garantissent des résultats de traitement thermique cohérents et souhaités.
6. Considérations relatives à l'ultravide : Dans les systèmes sous ultravide, des facteurs supplémentaires doivent être pris en compte, tels que les voies de fuite et les sources de dégazage. L'absorption d'eau de certains matériaux, l'absorptivité des métaux, l'ébullition des huiles et des graisses, la porosité des parois de la chambre à vide et le sens du grain des brides métalliques en sont quelques exemples. Ces considérations sont nécessaires pour maintenir les niveaux de vide souhaités et éviter les problèmes de performance.
7. Mesure dimensionnelle des chambres à vide : La performance des dispositifs semi-conducteurs dans une chambre à vide est directement affectée par le niveau de vide. Les fuites d'air peuvent perturber les réactions chimiques nécessaires au dépôt, à la gravure, à la pulvérisation et à d'autres processus, entraînant des échecs de traitement. Pour éviter les fuites, il est important de prendre des mesures prudentes telles que la planéité des faces frontales et des surfaces d'étanchéité, le contrôle de l'étanchéité à l'air et la purge à l'aide de gaz inertes. La mesure stricte des formes et des dimensions pendant la fabrication joue un rôle crucial dans l'obtention d'une chambre à vide étanche.
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