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Bateau d'évaporation de molybdène, tungstène et tantale pour applications à haute température

Pièces de dépôt de couches minces

Bateau d'évaporation de molybdène, tungstène et tantale pour applications à haute température

Numéro d'article : KME01

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Matériel
Tungstène / Molybdène / Tantale
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Introduction

Les bateaux d'évaporation sont utilisés dans le processus d'évaporation par résistance pour chauffer et évaporer les matériaux. Ils sont fabriqués à partir de matériaux à faible pression de vapeur, tels que le tungstène, le molybdène, le molybdène-lanthane (ML), l'oxyde de molybdène-yttrium (MY) ou le tantale, afin de garantir qu'aucune particule du matériau du bateau ne pénètre dans la vapeur et la couche finale. Les bateaux d'évaporation présentent une excellente résistance à la corrosion, de faibles pressions de vapeur, une bonne conductivité électrique, un point de fusion très élevé et sont dimensionnellement stables.

Application

Les sources de bateaux d'évaporation sont utilisées dans les systèmes d'évaporation thermique pour déposer des métaux, des alliages et des matériaux. Ils sont disponibles en différentes épaisseurs en tungstène, tantale et molybdène, assurant la compatibilité avec diverses sources d'alimentation. Ces bateaux sont essentiels pour l'évaporation sous vide et le dépôt de couches minces, y compris la fabrication par faisceau d'électrons. Ils sont largement utilisés dans des industries telles que le revêtement sous vide, l'électronique, l'énergie solaire et la métallurgie. Pour éviter la fissuration, un chauffage progressif du conteneur est essentiel. Les bateaux d'évaporation sont des outils polyvalents jouant un rôle vital dans l'analyse des matériaux et les processus de dépôt de couches minces.

Les bateaux d'évaporation en molybdène, tungstène et tantale trouvent des applications dans diverses industries, notamment :

  • Évaporation sous vide de matériaux
  • Transport de bateaux dans les fours
  • Industrie des terres rares
  • Frittage de combustible nucléaire
  • Frittage par décharge de condensateur

Détail et pièces

Détail du bateau d'évaporation en molybdène / tungstène / tantale 1

Détail du bateau d'évaporation en molybdène / tungstène / tantale 2

Détail du bateau d'évaporation en molybdène / tungstène / tantale 3

Longueur 100 largeur 8 épaisseur 0,2/0,3 mm Longueur 100 largeur 15 épaisseur 0,2/0,3/0,5 mm Longueur 100 largeur 20 épaisseur 0,2/0,3/0,5 mm Taille de la rainure : longueur 50 profondeur 2,6

Principe

Les bateaux d'évaporation en molybdène/tungstène/tantale sont utilisés dans les systèmes d'évaporation thermique pour déposer une large gamme de métaux, d'alliages et de matériaux. Les bateaux sont chauffés en y faisant passer un courant électrique, ce qui provoque l'évaporation du matériau. Le matériau évaporé se condense ensuite sur le substrat, formant une couche mince. L'épaisseur de la couche peut être contrôlée par la quantité de courant passant à travers le bateau et le temps d'évaporation.

Avantages

  • Excellente résistance à la corrosion
  • Faibles pressions de vapeur
  • Bonne conductivité électrique
  • Point de fusion très élevé
  • Dimensionnellement stable

Fait Confiance par les Leaders de l'Industrie

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FAQ

Quelles Sont Les Sources D'évaporation Thermique ?

Les sources d'évaporation thermique sont des dispositifs utilisés dans les systèmes d'évaporation thermique pour déposer des films minces sur des substrats. Elles fonctionnent en chauffant un matériau (évaporant) à des températures élevées, ce qui provoque son évaporation et sa condensation sur un substrat, formant ainsi un film mince.

Précautions D'utilisation Des Bateaux D'évaporation.

Mettre l'objet à analyser dans un creuset ou un saggar et le chauffer ; l'augmentation et la diminution de la température de chauffage dépendent des caractéristiques de l'équipement et du produit ; un chauffage ou un refroidissement trop rapide entraînera la rupture du bateau d'évaporation. Le mieux est de ralentir le processus de chauffage, ce qui prolongera la durée de vie de votre bateau.

Quels Sont Les Principaux Types De Sources D'évaporation Thermique ?

Les principaux types de sources d'évaporation thermique comprennent les sources d'évaporation résistive, les sources d'évaporation par faisceau d'électrons et les sources d'évaporation flash. Chaque type utilise différentes méthodes pour chauffer l'évaporant, telles que le chauffage résistif, le chauffage par faisceau d'électrons ou le contact direct avec une surface chaude.

Comment Fonctionnent Les Sources D'évaporation Thermique ?

Les sources d'évaporation thermique fonctionnent en faisant passer un courant électrique à travers un matériau résistif, qui s'échauffe jusqu'à atteindre des températures élevées. Cette chaleur est transférée à l'évaporant, qui fond et se vaporise. La vapeur traverse ensuite une chambre à vide et se condense sur un substrat, formant un film mince.

Quels Sont Les Avantages Des Sources D'évaporation Thermique ?

Les avantages des sources d'évaporation thermique comprennent des taux de dépôt élevés, une bonne direction, une excellente uniformité et une compatibilité avec divers matériaux. Elles sont également relativement simples et abordables, ce qui les rend adaptées à un large éventail d'applications dans le domaine du dépôt de couches minces.

Quelles Sont Les Applications Des Sources D'évaporation Thermique ?

Les sources d'évaporation thermique sont utilisées dans diverses applications telles que la production de revêtements optiques, de dispositifs semi-conducteurs et de divers types de couches minces. Elles sont particulièrement utiles dans les industries qui exigent un contrôle précis du dépôt de matériaux sur des substrats.
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