Un système de vide industriel est une installation complexe qui comprend des cuves à vide, différents types de pompes (mécaniques, de surpression, de diffusion, turbomoléculaires, de maintien), la tuyauterie associée, des collecteurs, des vannes, des équipements de mesure du vide et des pièges. Ces systèmes sont essentiels dans la fabrication industrielle pour des processus tels que l'emballage, le dégazage, le séchage et l'embouteillage. Ils fonctionnent en éliminant l'air, les gaz et d'autres molécules d'une chambre pour créer un vide, ce qui est essentiel pour de nombreuses applications industrielles et scientifiques.
Composants et fonctionnalités :
Le cœur d'un système de vide industriel est la cuve à vide, qui est reliée à plusieurs types de pompes. Ces pompes sont conçues pour fonctionner sur une large plage de pression, généralement de 1,3 à 13,3 mbar. Le système comprend des pompes mécaniques pour la création du vide initial, des pompes de surpression pour augmenter le niveau de vide, des pompes de diffusion pour le vide poussé et des pompes turbomoléculaires pour les niveaux de vide très élevés. Chaque type de pompe remplit une fonction spécifique dans le processus de création du vide, garantissant que le niveau de vide est maintenu et amélioré selon les besoins.Applications :
Les systèmes de vide industriel sont polyvalents et trouvent des applications dans un large éventail d'industries. Dans l'industrie manufacturière, ils sont utilisés pour les processus de dégazage sous vide, le moulage des plastiques composites et la production de lampes électriques, de tubes à vide et de tubes cathodiques. Dans l'industrie des semi-conducteurs, ils sont essentiels pour des processus tels que l'implantation ionique, la gravure à sec et les techniques de dépôt telles que PVD, ALD, PECVD et CVD. Elles jouent également un rôle crucial dans la microscopie électronique, les processus d'aspiration médicale, l'enrichissement de l'uranium et les applications médicales telles que la radiothérapie et la radiochirurgie. En outre, les pompes à vide sont utilisées dans les instruments d'analyse et les spectromètres de masse pour créer les conditions de vide nécessaires à une analyse précise.
Fonctionnement :
Le principe de base du fonctionnement des pompes à vide industrielles consiste à éliminer l'air et d'autres molécules de la chambre à vide. Au fur et à mesure que la pression diminue, l'élimination de molécules supplémentaires devient plus difficile, ce qui nécessite l'utilisation de différents types de pompes en série pour atteindre et maintenir le niveau de vide souhaité. Cette complexité garantit que le système de vide peut fonctionner efficacement dans la vaste plage de pression requise dans les environnements industriels.
