La pulvérisation RF offre plusieurs avantages par rapport à la pulvérisation DC, notamment en termes de polyvalence, d'efficacité et d'adaptation aux matériaux isolants. Les principaux avantages sont la possibilité d'opérer à des pressions plus faibles, la prévention de l'accumulation de charges sur la cible et la capacité de pulvériser efficacement une large gamme de matériaux, y compris les isolants.
1. Fonctionnement à des pressions plus faibles :
La pulvérisation RF peut maintenir un plasma gazeux à des pressions de chambre nettement inférieures, généralement inférieures à 15 mTorr, par rapport aux 100 mTorr requis pour la pulvérisation DC. Cette pression plus faible réduit le nombre de collisions entre les particules de plasma chargées et le matériau cible, créant ainsi un chemin plus direct vers la cible de pulvérisation. Il en résulte une plus grande efficacité et une meilleure qualité de film.2. Prévention de l'accumulation de charges :
L'un des principaux avantages de la pulvérisation RF est sa capacité à empêcher l'accumulation de charges sur le matériau cible. Ceci est crucial lors de la pulvérisation de matériaux isolants, qui peuvent accumuler des charges pendant la pulvérisation à courant continu et interrompre le processus. L'utilisation d'un courant alternatif dans la pulvérisation RF garantit que le signe du champ électrique sur chaque surface à l'intérieur de la chambre à plasma change avec la fréquence RF, ce qui permet d'éviter les effets de charge et de réduire les arcs électriques.
3. Polyvalence dans le dépôt de matériaux :
La pulvérisation RF est très polyvalente et permet de déposer une grande variété de matériaux, notamment des isolants, des métaux, des alliages et des composites. Ceci est particulièrement bénéfique pour les industries nécessitant le dépôt de matériaux complexes ou mixtes, car la pulvérisation RF peut traiter efficacement ces divers matériaux sans les limitations rencontrées par la pulvérisation DC.4. Amélioration de la qualité du film et de la couverture des étapes :
Comparée aux techniques d'évaporation, la pulvérisation RF produit une meilleure qualité de film et une meilleure couverture des étapes. Ceci est important dans les applications où le dépôt d'un film précis et uniforme est critique, comme dans la fabrication de semi-conducteurs et les revêtements optiques.
