Le dépôt physique en phase vapeur (PVD) par évaporation et par pulvérisation cathodique sont deux méthodes courantes pour déposer des couches minces sur des substrats. L'évaporation consiste à chauffer le matériau de revêtement jusqu'à son point d'ébullition dans le vide, ce qui provoque sa vaporisation et sa condensation sur le substrat. La pulvérisation, quant à elle, utilise des particules à haute énergie pour bombarder un matériau cible, provoquant l'éjection d'atomes ou de molécules qui se déposent sur le substrat.
Évaporation :
Dans le processus d'évaporation, le matériau à revêtir est chauffé à haute température, généralement dans une chambre à vide, jusqu'à ce qu'il atteigne son point d'ébullition et se transforme en vapeur. Cette vapeur traverse alors le vide et se condense sur la surface plus froide du substrat, formant un film mince. Le chauffage peut être réalisé par différentes méthodes, telles que le chauffage résistif ou le chauffage par faisceau d'électrons. L'avantage de l'évaporation est sa simplicité et la possibilité de déposer des matériaux d'une grande pureté. Toutefois, elle peut ne pas convenir au dépôt de films à plusieurs composants ou de films ayant un point de fusion élevé.Pulvérisation :
La pulvérisation cathodique implique l'utilisation d'une décharge de plasma pour éjecter des atomes d'un matériau cible. La cible, qui est le matériau à déposer, est bombardée par des ions à haute énergie (généralement des ions argon) dans un environnement à basse pression. L'impact de ces ions provoque l'éjection des atomes de la cible, qui se déposent ensuite sur le substrat. La pulvérisation peut être réalisée à l'aide de différentes techniques, telles que la pulvérisation à diode, la pulvérisation magnétron et la pulvérisation par faisceau d'ions. L'avantage de la pulvérisation est qu'elle permet de déposer une large gamme de matériaux, y compris des alliages et des composés, et de contrôler les propriétés du film en ajustant les paramètres du processus. Cependant, les systèmes de pulvérisation sont généralement plus complexes et nécessitent un investissement initial plus important que les systèmes d'évaporation.
