L'énergie des atomes pulvérisés varie généralement de quelques dizaines à quelques centaines d'électronvolts, avec une énergie cinétique moyenne souvent de l'ordre de 600 eV. Cette énergie est communiquée aux atomes lorsqu'ils sont éjectés d'un matériau cible par l'impact d'ions à haute énergie. Le processus de pulvérisation implique le transfert de l'énergie des ions incidents aux atomes de la cible, ce qui conduit à leur éjection.
Explication détaillée :
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Mécanisme de transfert d'énergie :
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La pulvérisation se produit lorsque des ions entrent en collision avec la surface d'un matériau cible. Ces ions ont généralement une énergie comprise entre plusieurs centaines de volts et plusieurs kilovolts. Le transfert d'énergie de l'ion à l'atome cible doit dépasser l'énergie de liaison de l'atome de surface pour que la pulvérisation se produise. Cette énergie de liaison est généralement de l'ordre de quelques électrons-volts. Une fois le seuil d'énergie atteint, les atomes cibles acquièrent suffisamment d'énergie pour surmonter leur liaison à la surface et sont éjectés.Distribution de l'énergie des atomes pulvérisés :
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L'énergie cinétique des atomes pulvérisés n'est pas uniforme. Ils présentent une large distribution d'énergie, qui s'étend souvent jusqu'à des dizaines d'électronvolts. Cette distribution est influencée par plusieurs facteurs, notamment l'énergie, l'angle et le type d'ion entrant, ainsi que la nature du matériau cible. La distribution d'énergie peut aller d'impacts balistiques à haute énergie à des mouvements thermalisés à plus faible énergie, en fonction des conditions et de la pression du gaz de fond.
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Influence des paramètres du processus :
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L'efficacité de la pulvérisation et l'énergie des atomes pulvérisés sont fortement influencées par divers paramètres tels que l'angle d'incidence des ions, l'énergie des ions, les masses des ions et des atomes cibles, l'énergie de liaison entre les atomes cibles, et la présence d'un champ magnétique ou de cathodes de conception spécifique dans les systèmes de pulvérisation magnétron. Par exemple, des ions plus lourds ou plus énergétiques entraînent généralement des transferts d'énergie plus importants vers les atomes cibles, ce qui se traduit par des énergies cinétiques plus élevées pour les atomes pulvérisés.Pulvérisation préférentielle :
Dans les cibles multicomposants, une pulvérisation préférentielle peut se produire lorsqu'un composant est pulvérisé plus efficacement que les autres en raison de différences dans les énergies de liaison ou les effets de masse. Cela peut entraîner des changements dans la composition de la surface de la cible au fil du temps, affectant l'énergie et la composition du matériau pulvérisé.
