Le faisceau d'électrons dans l'évaporation par faisceau d'électrons (E-beam) est utilisé pour chauffer et vaporiser un échantillon dans un environnement sous vide.
Les 4 étapes clés expliquées
1. Génération et orientation du faisceau d'électrons
Le faisceau d'électrons est généré à partir d'un filament.
Il est accéléré jusqu'à une énergie cinétique élevée (jusqu'à 10 kV) par un champ électrique à haute tension.
Des champs électriques et magnétiques sont utilisés pour diriger le faisceau avec précision sur le matériau source.
Le matériau source se présente généralement sous la forme de pastilles ou d'un bloc placé dans un creuset.
2. Transfert d'énergie et vaporisation
Lorsque le faisceau d'électrons frappe le matériau source, son énergie cinétique est convertie en chaleur.
Cela augmente la température du matériau.
À mesure que le matériau se réchauffe, les atomes de sa surface acquièrent suffisamment d'énergie pour vaincre les forces de liaison qui les retiennent au matériau principal.
Ils quittent alors la surface sous forme de vapeur.3. Évaporation et dépôtLes atomes ou molécules vaporisés traversent la chambre à vide à une énergie thermique (inférieure à 1 eV).Ils ne sont pas perturbés par d'autres particules, ce qui garantit un dépôt "en ligne de mire" sur un substrat placé à une distance de travail de 300 mm à 1 mètre.
