Le dépôt physique en phase vapeur (PVD) est une technique utilisée pour créer des couches minces et des revêtements en faisant passer les matériaux de leur phase condensée à leur phase vapeur.
Le dépôt physique en phase vapeur est une technique de revêtement par vaporisation qui opère au niveau atomique.
Elle est généralement utilisée dans des environnements sous vide pour produire ces couches minces et ces revêtements.
Dans le procédé PVD, un matériau source solide ou liquide est vaporisé dans une chambre à vide.
Cette vaporisation peut être réalisée par diverses méthodes telles que la pulvérisation cathodique, l'évaporation thermique, l'évaporation par faisceau d'électrons, l'ablation laser, etc.
Le matériau vaporisé se condense ensuite sur la surface d'un substrat sous forme d'atomes ou de molécules.
On obtient ainsi un revêtement PVD fin, dont l'épaisseur n'est que de quelques atomes.
Le processus se déroule dans un environnement sous vide pour plusieurs raisons.
Tout d'abord, le vide diminue la densité des atomes dans la chambre, ce qui allonge le libre parcours moyen des atomes.
Cela permet aux atomes d'atteindre le substrat sans entrer en collision avec les molécules de gaz résiduelles dans la chambre.
En outre, un environnement de vapeur à basse pression est nécessaire au bon fonctionnement des systèmes de dépôt physique commerciaux.
Le procédé PVD comporte quatre étapes principales : l'évaporation, le transport, la réaction et le dépôt.
Pendant l'évaporation, le matériau source est vaporisé et converti en phase vapeur.
Le matériau vaporisé est ensuite transporté dans la chambre à vide jusqu'au substrat.
Une fois sur le substrat, une réaction se produit, au cours de laquelle le matériau vaporisé se condense sur le matériau de surface sous forme d'atomes ou de molécules.
Enfin, le matériau condensé est déposé sur le substrat, créant un film mince ou un revêtement.
Dans l'ensemble, le dépôt en phase vapeur est une technique polyvalente qui peut être utilisée pour créer des films minces présentant les propriétés souhaitées.
Elle est largement utilisée dans diverses industries, notamment l'électronique, l'optique et l'automobile.
Les applications comprennent la résistance à la corrosion et à l'usure, les revêtements optiques et les revêtements décoratifs.
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