Lorsque l'on compare le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), les principales différences résident dans la manière dont le processus de dépôt est activé et dans les températures requises.
4 Différences essentielles entre PECVD et CVD
1. Mécanisme d'activation
La PECVD utilise le plasma pour initier et entretenir des réactions chimiques à des températures plus basses.
La CVD fait appel à l'énergie thermique, généralement à des températures plus élevées.
2. Exigences en matière de température
La PECVD permet un dépôt à des températures proches de la température ambiante, ce qui est bénéfique pour les matériaux sensibles aux températures élevées.
La CVD nécessite des températures élevées pour entraîner les réactions chimiques qui conduisent au dépôt de couches minces sur le substrat.
3. Description du procédé
Procédé PECVD :
Le PECVD est un procédé de dépôt de couches minces sous vide qui utilise un plasma pour activer le gaz ou la vapeur source.
Le plasma est généré par une source électrique, créant des ions et des radicaux chimiquement actifs qui participent à des réactions hétérogènes.
Cette méthode est idéale pour les matériaux tels que les plastiques qui ne peuvent pas supporter des températures élevées.
Le procédé CVD :
Le dépôt en phase vapeur repose sur l'énergie thermique pour activer la décomposition d'un précurseur chimique-vapeur.
Cette réduction est généralement réalisée à l'aide d'hydrogène à des températures élevées.
Les températures élevées sont nécessaires pour faciliter les réactions qui conduisent au dépôt de couches minces.
4. Comparaison et avantages
Le principal avantage de la PECVD par rapport à la CVD est sa capacité à déposer des couches minces à des températures nettement inférieures.
Cette capacité élargit la gamme des substrats possibles en y incluant des matériaux qui ne peuvent pas supporter les températures élevées des procédés CVD conventionnels.
Le procédé PECVD permet de déposer une gamme plus large de matériaux de revêtement en raison de l'activité chimique accrue facilitée par le plasma.
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