L'évaporation thermique est une technique polyvalente de dépôt physique en phase vapeur utilisée pour déposer des couches minces de métaux et de non-métaux.
Elle est largement appliquée dans diverses industries en raison de sa simplicité et de son efficacité.
Les principales utilisations de l'évaporation thermique sont les suivantes
1. Contacts électriques et dispositifs à couches minces
L'évaporation thermique est couramment utilisée pour déposer des métaux simples tels que l'argent ou l'aluminium pour les contacts électriques.
Elle est également cruciale dans la fabrication de dispositifs à couche mince tels que les OLED, les cellules solaires et les transistors à couche mince en déposant des couches de contact métalliques.
En outre, il permet de déposer d'épaisses couches d'indium pour le collage des tranches de silicium.
2. Optique et lentilles ophtalmiques
Cette technique est largement utilisée pour le revêtement des optiques et des lentilles.
Plusieurs couches de matériaux sont évaporées pour améliorer les propriétés des lentilles, y compris les revêtements antireflets, les revêtements durs et la protection contre la lumière infrarouge ou ultraviolette.
Les grandes chambres à vide peuvent traiter des centaines de lentilles à la fois, ce qui garantit l'uniformité des couches minces sur tous les produits d'un lot.
3. Emballage des produits de consommation
L'évaporation thermique est utilisée dans de grandes machines d'enduction pour créer des revêtements de bande pour les feuilles d'emballage.
En appliquant de fines pellicules de matériaux tels que l'aluminium sur des feuilles de plastique, on crée une barrière contre l'air et l'humidité, ce qui prolonge la fraîcheur et la durée de conservation des biens de consommation.
4. Dépôt général de couches minces
Cette technique permet de déposer une large gamme de matériaux, dont l'aluminium, l'argent, le nickel, le chrome et le magnésium.
Le processus consiste à chauffer le matériau dans un environnement sous vide poussé jusqu'à son point d'évaporation, ce qui permet aux molécules vaporisées de se déplacer vers un substrat où elles se nucléent et forment un revêtement en couche mince.
Le processus d'évaporation thermique
Le processus d'évaporation thermique est simple : un matériau est chauffé dans un environnement sous vide poussé jusqu'à son point d'évaporation, généralement par chauffage Joule ou par évaporation par faisceau d'électrons.
Le matériau vaporisé se déplace ensuite vers un substrat où il se condense pour former un film mince.
Cette méthode est utile en laboratoire et dans l'industrie pour le dépôt de couches minces et peut être répétée pour la croissance et la nucléation des couches.
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