Pièces de dépôt de couches minces
Creuset de faisceau d'électrons Creuset de faisceau d'électrons pour évaporation
Numéro d'article : KES01
Le prix varie en fonction de Spécifications et personnalisations
- Matériel
- Tantale / Molybdène / Tungstène
- spécification
- 4CC / 7CC /15CC / 25CC / 40CC
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Application
Le canon à électrons produit un faisceau d'électrons puissant dirigé vers le creuset. Les électrons chauffent le matériau dans le creuset jusqu'à ce qu'il devienne des atomes ou des amas moléculaires. Ce nuage peut ensuite être déposé sur une surface pour former un film mince. Dans l'évaporation par faisceau d'électrons, le creuset est comme un récipient qui contient et chauffe le matériau à déposer. Il est fait d'un matériau spécial capable de résister à des températures élevées sans fondre. Ils aident à concentrer la chaleur sur le matériau qui s'évapore.
Il est principalement utilisé pour les applications suivantes :
- Dépôt de couches minces : Largement utilisé dans les technologies de dépôt de couches minces telles que l'évaporation par faisceau d'électrons, la production de couches minces pour appareils électroniques, les revêtements optiques et la modification de surface des matériaux.
- Industrie des semi-conducteurs : dépôt de couches minces métalliques comme interconnexions, contacts ohmiques et barrières de diffusion.
- Optique et optoélectronique : Revêtements optiques, revêtements antireflets et miroirs pour divers dispositifs optiques.
Détail et pièces
Spécifications techniques
| Produit | Creuset en molybdène/tungstène | Creuset en nitrure de bore/Creuset en nitrure de bore conducteur | Creuset en graphite/Creuset en graphite revêtu | Creusets en graphite pyrolytique revêtu | Creuset en nickel | Creuset en titane | Creuset en cuivre | Creuset en alumine |
| Spécification | 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC | 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC | 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC | 4CC / 7CC | 4CC | 4CC | 4CC / 2CC / 40CC | 4CC |
Les creusets que nous présentons sont disponibles en différentes tailles et des tailles personnalisées sont disponibles sur demande.
Avantage
- Taux d'évaporation plus élevé.
- Amélioration de la stabilité thermique ; chauffage uniforme.
- Réduction du transfert de chaleur vers le creuset ; bonnes performances d'isolation thermique.
- Permet des changements de matériaux rapides pour minimiser les temps d'arrêt de la chambre.
- Compatibilité sous vide ; membrane de haute pureté.
- Polyvalence ; prend en charge plusieurs matériaux.
- Minimise les dommages et la maintenance du creuset.
- Ces avantages font du creuset de faisceau d'électrons un outil important dans le processus de dépôt de couches minces, offrant un contrôle précis, un taux de dépôt élevé et des couches minces de haute qualité pour diverses industries et domaines de recherche.
Fait Confiance par les Leaders de l'Industrie
FAQ
Quelles Sont Les Sources D'évaporation Thermique ?
Comparaison De L'évaporation Thermique Et De L'évaporation Par Faisceau D'électrons.
Quels Sont Les Principaux Types De Sources D'évaporation Thermique ?
Comment Fonctionnent Les Sources D'évaporation Thermique ?
Quels Sont Les Matériaux Couramment Utilisés Pour Les Creusets D’évaporation ?
Quels Sont Les Avantages Des Sources D'évaporation Thermique ?
Quels Sont Les Avantages De L’utilisation De Creusets évaporants ?
Quelles Sont Les Applications Des Sources D'évaporation Thermique ?
Comment Les Creusets évaporants Doivent-ils être Manipulés Et Entretenus ?
Fiche Technique du Produit
Creuset de faisceau d'électrons Creuset de faisceau d'électrons pour évaporation
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