La pulvérisation est un procédé physique utilisé en chimie et en science des matériaux pour déposer des couches minces sur un substrat. Elle implique l'éjection d'atomes d'un matériau cible solide suite à un bombardement par des ions énergétiques, généralement dans un environnement sous vide. Ces atomes éjectés se déplacent ensuite et adhèrent à un substrat, formant un film mince aux propriétés spécifiques.
Explication détaillée :
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Environnement sous vide et formation de plasma :
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La pulvérisation se produit dans une chambre à vide où un gaz contrôlé, généralement de l'argon, est introduit. Le gaz est ionisé par une décharge électrique, ce qui crée un plasma. Dans ce plasma, les atomes d'argon perdent des électrons et deviennent des ions chargés positivement.Bombardement ionique de la cible :
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Les ions argon chargés positivement sont accélérés vers une cathode (la cible) par un champ électrique. La cible est constituée du matériau destiné à être déposé sur le substrat. Lorsque ces ions énergétiques entrent en collision avec la cible, ils transfèrent leur énergie cinétique aux atomes de la cible, ce qui entraîne l'éjection de certains d'entre eux de la surface de la cible.
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Éjection et dépôt des atomes de la cible :
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Les atomes éjectés, appelés adatomes, forment un flux de vapeur qui traverse la chambre à vide. Ces atomes frappent ensuite le substrat, adhèrent à sa surface et forment un film mince. Le processus est précis et permet de créer des films ayant des propriétés spécifiques telles que la réflectivité, la conductivité électrique ou la résistance.Caractéristiques du film déposé :
Le processus de pulvérisation cathodique permet d'obtenir un film uniforme, extrêmement fin et fortement lié au substrat. En effet, le dépôt s'effectue au niveau atomique, ce qui garantit une liaison pratiquement incassable entre le film et le substrat.
