Le dépôt physique en phase vapeur (PVD) est une méthode utilisée pour créer des couches minces et des revêtements en transformant des matériaux d'une phase condensée en une phase vapeur, puis à nouveau en une phase condensée. Ce procédé consiste à déposer physiquement des atomes, des ions ou des molécules d'une espèce de revêtement sur un substrat, ce qui donne généralement des revêtements de métaux purs, d'alliages métalliques et de céramiques d'une épaisseur allant de 1 à 10 µm.
Aperçu du procédé :
Le procédé PVD commence avec le matériau sous forme solide, qui est ensuite converti en vapeur par divers mécanismes physiques. Cette vapeur est transportée à travers une région de basse pression depuis sa source jusqu'au substrat. Lorsqu'elle atteint le substrat, la vapeur se condense pour former un film mince. Cette séquence d'étapes est cruciale pour le dépôt précis et contrôlé de matériaux.Techniques et mécanismes :
Il existe trois principaux types de techniques PVD : la pulvérisation cathodique, l'évaporation et le placage ionique. Chacune de ces techniques fonctionne dans une chambre contenant une atmosphère contrôlée à pression réduite. La pulvérisation, par exemple, implique la libération d'atomes à partir d'une source solide ou liquide par échange de momentum, où les atomes sont physiquement éjectés du matériau cible en raison du bombardement par des particules énergétiques.
Applications et avantages :
Le dépôt en phase vapeur est largement utilisé dans diverses industries, notamment dans le domaine médical, où il est crucial pour le revêtement des dispositifs médicaux utilisés à proximité ou à l'intérieur du corps. La capacité du dépôt en phase vapeur à déposer des matériaux au niveau atomique garantit que le revêtement adhère correctement et uniformément au dispositif. Cette méthode permet d'appliquer presque tous les types de matériaux inorganiques et une petite gamme de matériaux organiques, ce qui la rend polyvalente pour différentes applications.
Comparaison avec le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) :
