Il existe deux types de techniques de dépôt : les techniques physiques et les techniques chimiques.
Techniques de dépôt physique :
- Les méthodes de dépôt physique s'appuient sur des processus thermodynamiques ou mécaniques pour produire des couches minces sans faire intervenir de réactions chimiques. Ces techniques nécessitent des environnements à faible pression pour obtenir des résultats fonctionnels et précis. Voici quelques exemples de techniques de dépôt physiqueL'évaporation :
- Le matériau est chauffé jusqu'à ce qu'il se transforme en vapeur, qui se condense ensuite sur le substrat pour former un film mince.Pulvérisation :
- Un matériau cible est bombardé avec des particules à haute énergie, ce qui provoque l'éjection d'atomes qui se déposent sur un substrat.Dépôt par laser pulsé (PLD) :
Un faisceau laser de forte puissance est focalisé sur un matériau cible, le vaporisant et le déposant sur un substrat.Techniques de dépôt chimique :
- Les techniques de dépôt chimique font appel à des réactions chimiques pour déposer des matériaux sur un substrat. Ces méthodes peuvent être classées en plusieurs catégories :
- Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) : Des gaz précurseurs réagissent à la surface d'un substrat pour déposer des couches minces.
- Dépôt par couche atomique (ALD) : Il s'agit d'un processus autolimité dans lequel les précurseurs sont introduits de manière séquentielle pour déposer un film mince, couche atomique par couche atomique.
Dépôt électrolytique :
Un courant électrique est utilisé pour réduire les cations métalliques dissous, ce qui leur permet de former un revêtement métallique cohérent sur un substrat.Chaque technique de dépôt a ses propres étapes, qui comprennent la sélection du matériau source, le transport du matériau vers le substrat, le dépôt du matériau, et éventuellement le recuit ou le traitement thermique du film pour obtenir les propriétés souhaitées. Le choix de la technique de dépôt dépend de l'épaisseur souhaitée, de la composition de la surface du substrat et de l'objectif du dépôt. Ces techniques sont essentielles pour créer des couches minces aux propriétés adaptées à diverses applications, notamment l'électronique, l'optique et les dispositifs énergétiques.
